SemOpenAlex |

SemOpenAlex

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W106578115> ?p ?o ?g. }

Showing items 1 to 100 of ±154 with 100 items per page.

W106578115 endingPage "254" @default.
W106578115 startingPage "229" @default.
W106578115 created "2016-06-24" @default.
W106578115 creator A5020885225 @default.
W106578115 creator A5027185439 @default.
W106578115 date "2008-01-01" @default.
W106578115 modified "2023-10-16" @default.
W106578115 title "Energy Deposition at the Substrate in a Magnetron Sputtering System" @default.
W106578115 cites W1667935951 @default.
W106578115 cites W1963728900 @default.
W106578115 cites W1964753392 @default.
W106578115 cites W1969695797 @default.
W106578115 cites W1969774789 @default.
W106578115 cites W1971505481 @default.
W106578115 cites W1971515011 @default.
W106578115 cites W1973142384 @default.
W106578115 cites W1974404976 @default.
W106578115 cites W1975129698 @default.
W106578115 cites W1976494528 @default.
W106578115 cites W1977290005 @default.
W106578115 cites W1978628611 @default.
W106578115 cites W1979539753 @default.
W106578115 cites W1980929018 @default.
W106578115 cites W1982961275 @default.
W106578115 cites W1983054200 @default.
W106578115 cites W1987394515 @default.
W106578115 cites W1988212675 @default.
W106578115 cites W1988660248 @default.
W106578115 cites W1990551369 @default.
W106578115 cites W1990716263 @default.
W106578115 cites W1994575712 @default.
W106578115 cites W1999424953 @default.
W106578115 cites W2000525576 @default.
W106578115 cites W2000953643 @default.
W106578115 cites W2001493827 @default.
W106578115 cites W2002737942 @default.
W106578115 cites W2005028270 @default.
W106578115 cites W2005824398 @default.
W106578115 cites W2006438547 @default.
W106578115 cites W2007255055 @default.
W106578115 cites W2008348225 @default.
W106578115 cites W2010929853 @default.
W106578115 cites W2011114117 @default.
W106578115 cites W2011919472 @default.
W106578115 cites W2013323041 @default.
W106578115 cites W2013595759 @default.
W106578115 cites W2020347681 @default.
W106578115 cites W2020721394 @default.
W106578115 cites W2031193411 @default.
W106578115 cites W2036179509 @default.
W106578115 cites W2037654956 @default.
W106578115 cites W2038766008 @default.
W106578115 cites W2040179900 @default.
W106578115 cites W2042414791 @default.
W106578115 cites W2043062012 @default.
W106578115 cites W2044281722 @default.
W106578115 cites W2044297883 @default.
W106578115 cites W2048613906 @default.
W106578115 cites W2053736323 @default.
W106578115 cites W2058887165 @default.
W106578115 cites W2058999682 @default.
W106578115 cites W2060004838 @default.
W106578115 cites W2060092554 @default.
W106578115 cites W2064221155 @default.
W106578115 cites W2065573120 @default.
W106578115 cites W2065991762 @default.
W106578115 cites W2068320805 @default.
W106578115 cites W2070492069 @default.
W106578115 cites W2071974251 @default.
W106578115 cites W2075273154 @default.
W106578115 cites W2075722205 @default.
W106578115 cites W2075916771 @default.
W106578115 cites W2078213605 @default.
W106578115 cites W2079815545 @default.
W106578115 cites W2082675095 @default.
W106578115 cites W2085294345 @default.
W106578115 cites W2085485239 @default.
W106578115 cites W2086631894 @default.
W106578115 cites W2089345517 @default.
W106578115 cites W2091845800 @default.
W106578115 cites W2091974055 @default.
W106578115 cites W2093596305 @default.
W106578115 cites W2094210689 @default.
W106578115 cites W2094970744 @default.
W106578115 cites W2102684325 @default.
W106578115 cites W2109665339 @default.
W106578115 cites W2118166372 @default.
W106578115 cites W2120395384 @default.
W106578115 cites W2133269728 @default.
W106578115 cites W2133299720 @default.
W106578115 cites W2163146067 @default.
W106578115 cites W2169473587 @default.
W106578115 doi "https://doi.org/10.1007/978-3-540-76664-3_7" @default.
W106578115 hasPublicationYear "2008" @default.
W106578115 type Work @default.
W106578115 sameAs 106578115 @default.
W106578115 citedByCount "4" @default.
W106578115 countsByYear W1065781152013 @default.
W106578115 countsByYear W1065781152018 @default.
W106578115 countsByYear W1065781152022 @default.