Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W148962846> ?p ?o ?g. }
- W148962846 endingPage "111" @default.
- W148962846 startingPage "85" @default.
- W148962846 created "2016-06-24" @default.
- W148962846 creator A5048687137 @default.
- W148962846 creator A5067568063 @default.
- W148962846 date "2005-12-01" @default.
- W148962846 modified "2023-10-18" @default.
- W148962846 title "Photoresist systems for microlithography" @default.
- W148962846 cites W1965476999 @default.
- W148962846 cites W1974477813 @default.
- W148962846 cites W1982520495 @default.
- W148962846 cites W1988770626 @default.
- W148962846 cites W1995013692 @default.
- W148962846 cites W1997324339 @default.
- W148962846 cites W1999098937 @default.
- W148962846 cites W2002126890 @default.
- W148962846 cites W2002236287 @default.
- W148962846 cites W2002392463 @default.
- W148962846 cites W2005272246 @default.
- W148962846 cites W2013215688 @default.
- W148962846 cites W2035140700 @default.
- W148962846 cites W2037507148 @default.
- W148962846 cites W2041888624 @default.
- W148962846 cites W2046500529 @default.
- W148962846 cites W2046858557 @default.
- W148962846 cites W2049391243 @default.
- W148962846 cites W2055816327 @default.
- W148962846 cites W2065404457 @default.
- W148962846 cites W2075965514 @default.
- W148962846 cites W2079064171 @default.
- W148962846 cites W2083631698 @default.
- W148962846 cites W2089746739 @default.
- W148962846 cites W2090955607 @default.
- W148962846 cites W2095129671 @default.
- W148962846 cites W2100770535 @default.
- W148962846 cites W2112396253 @default.
- W148962846 cites W2116351313 @default.
- W148962846 cites W2137542173 @default.
- W148962846 cites W2045054333 @default.
- W148962846 doi "https://doi.org/10.1007/bfb0025904" @default.
- W148962846 hasPublicationYear "2005" @default.
- W148962846 type Work @default.
- W148962846 sameAs 148962846 @default.
- W148962846 citedByCount "14" @default.
- W148962846 countsByYear W1489628462019 @default.
- W148962846 countsByYear W1489628462021 @default.
- W148962846 crossrefType "book-chapter" @default.
- W148962846 hasAuthorship W148962846A5048687137 @default.
- W148962846 hasAuthorship W148962846A5067568063 @default.
- W148962846 hasConcept C111368507 @default.
- W148962846 hasConcept C119599485 @default.
- W148962846 hasConcept C120793396 @default.
- W148962846 hasConcept C127313418 @default.
- W148962846 hasConcept C127413603 @default.
- W148962846 hasConcept C134146338 @default.
- W148962846 hasConcept C134406635 @default.
- W148962846 hasConcept C138331895 @default.
- W148962846 hasConcept C171250308 @default.
- W148962846 hasConcept C177454536 @default.
- W148962846 hasConcept C192562407 @default.
- W148962846 hasConcept C204223013 @default.
- W148962846 hasConcept C2777289219 @default.
- W148962846 hasConcept C2779227376 @default.
- W148962846 hasConcept C49040817 @default.
- W148962846 hasConcept C530198007 @default.
- W148962846 hasConcept C53524968 @default.
- W148962846 hasConcept C61696701 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C111368507 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C119599485 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C120793396 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C127313418 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C127413603 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C134146338 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C134406635 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C138331895 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C171250308 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C177454536 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C192562407 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C204223013 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C2777289219 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C2779227376 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C49040817 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C530198007 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C53524968 @default.
- W148962846 hasConceptScore W148962846C61696701 @default.
- W148962846 hasLocation W1489628461 @default.
- W148962846 hasOpenAccess W148962846 @default.
- W148962846 hasPrimaryLocation W1489628461 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W1841820351 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W1990950348 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W1999595755 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2001873846 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2045098484 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2081152130 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2116016927 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2142584595 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2321285900 @default.
- W148962846 hasRelatedWork W2920584510 @default.
- W148962846 isParatext "false" @default.
- W148962846 isRetracted "false" @default.