Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1566391999> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 57 of
57
with 100 items per page.
- W1566391999 startingPage "2179" @default.
- W1566391999 created "2016-06-24" @default.
- W1566391999 creator A5004878238 @default.
- W1566391999 date "1999-11-01" @default.
- W1566391999 modified "2023-09-27" @default.
- W1566391999 title "Silicon microlithography using metastable argon((3)phosphorus(0,2)) atoms" @default.
- W1566391999 hasPublicationYear "1999" @default.
- W1566391999 type Work @default.
- W1566391999 sameAs 1566391999 @default.
- W1566391999 citedByCount "0" @default.
- W1566391999 crossrefType "dissertation" @default.
- W1566391999 hasAuthorship W1566391999A5004878238 @default.
- W1566391999 hasConcept C171250308 @default.
- W1566391999 hasConcept C178790620 @default.
- W1566391999 hasConcept C185592680 @default.
- W1566391999 hasConcept C192562407 @default.
- W1566391999 hasConcept C49040817 @default.
- W1566391999 hasConcept C510538283 @default.
- W1566391999 hasConcept C544956773 @default.
- W1566391999 hasConcept C547737533 @default.
- W1566391999 hasConcept C89464430 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C171250308 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C178790620 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C185592680 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C192562407 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C49040817 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C510538283 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C544956773 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C547737533 @default.
- W1566391999 hasConceptScore W1566391999C89464430 @default.
- W1566391999 hasLocation W15663919991 @default.
- W1566391999 hasOpenAccess W1566391999 @default.
- W1566391999 hasPrimaryLocation W15663919991 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W12656577 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W1490489849 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W1507611735 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W1626925379 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W1633177987 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W163481804 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W1897687984 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2013147587 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2509766115 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2521835916 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2749896754 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2783616052 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2901489953 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2916953654 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W2997209469 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W3015557102 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W3016431329 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W3088160649 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W3179949247 @default.
- W1566391999 hasRelatedWork W3210585191 @default.
- W1566391999 isParatext "false" @default.
- W1566391999 isRetracted "false" @default.
- W1566391999 magId "1566391999" @default.
- W1566391999 workType "dissertation" @default.