Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1566456098> ?p ?o ?g. }
- W1566456098 endingPage "2201" @default.
- W1566456098 startingPage "2191" @default.
- W1566456098 created "2016-06-24" @default.
- W1566456098 creator A5006413500 @default.
- W1566456098 creator A5036069305 @default.
- W1566456098 creator A5055215771 @default.
- W1566456098 creator A5077017950 @default.
- W1566456098 creator A5091596101 @default.
- W1566456098 date "2014-06-01" @default.
- W1566456098 modified "2023-10-15" @default.
- W1566456098 title "Electrolyte composition and removal mechanism of Cu electrochemical mechanical polishing" @default.
- W1566456098 cites W1880043260 @default.
- W1566456098 cites W1964592862 @default.
- W1566456098 cites W1965736423 @default.
- W1566456098 cites W1970674409 @default.
- W1566456098 cites W1972818237 @default.
- W1566456098 cites W1972995554 @default.
- W1566456098 cites W1975252752 @default.
- W1566456098 cites W1977779814 @default.
- W1566456098 cites W1998388362 @default.
- W1566456098 cites W2008055508 @default.
- W1566456098 cites W2013754301 @default.
- W1566456098 cites W2027061322 @default.
- W1566456098 cites W2030340421 @default.
- W1566456098 cites W2036862855 @default.
- W1566456098 cites W2051166244 @default.
- W1566456098 cites W2058232234 @default.
- W1566456098 cites W2060374349 @default.
- W1566456098 cites W2061995164 @default.
- W1566456098 cites W2062666681 @default.
- W1566456098 cites W2068306931 @default.
- W1566456098 cites W2068970791 @default.
- W1566456098 cites W2082465224 @default.
- W1566456098 cites W2085356325 @default.
- W1566456098 cites W2094636678 @default.
- W1566456098 cites W2151786462 @default.
- W1566456098 cites W2164084375 @default.
- W1566456098 doi "https://doi.org/10.1007/s11771-014-2170-6" @default.
- W1566456098 hasPublicationYear "2014" @default.
- W1566456098 type Work @default.
- W1566456098 sameAs 1566456098 @default.
- W1566456098 citedByCount "3" @default.
- W1566456098 countsByYear W15664560982019 @default.
- W1566456098 countsByYear W15664560982020 @default.
- W1566456098 countsByYear W15664560982022 @default.
- W1566456098 crossrefType "journal-article" @default.
- W1566456098 hasAuthorship W1566456098A5006413500 @default.
- W1566456098 hasAuthorship W1566456098A5036069305 @default.
- W1566456098 hasAuthorship W1566456098A5055215771 @default.
- W1566456098 hasAuthorship W1566456098A5077017950 @default.
- W1566456098 hasAuthorship W1566456098A5091596101 @default.
- W1566456098 hasConcept C118231568 @default.
- W1566456098 hasConcept C127413603 @default.
- W1566456098 hasConcept C138113353 @default.
- W1566456098 hasConcept C147789679 @default.
- W1566456098 hasConcept C159985019 @default.
- W1566456098 hasConcept C17525397 @default.
- W1566456098 hasConcept C175708663 @default.
- W1566456098 hasConcept C180088628 @default.
- W1566456098 hasConcept C185592680 @default.
- W1566456098 hasConcept C191897082 @default.
- W1566456098 hasConcept C192562407 @default.
- W1566456098 hasConcept C20625102 @default.
- W1566456098 hasConcept C2777844968 @default.
- W1566456098 hasConcept C2779851234 @default.
- W1566456098 hasConcept C2781235140 @default.
- W1566456098 hasConcept C42360764 @default.
- W1566456098 hasConcept C52859227 @default.
- W1566456098 hasConcept C68801617 @default.
- W1566456098 hasConcept C88380143 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C118231568 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C127413603 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C138113353 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C147789679 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C159985019 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C17525397 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C175708663 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C180088628 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C185592680 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C191897082 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C192562407 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C20625102 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C2777844968 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C2779851234 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C2781235140 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C42360764 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C52859227 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C68801617 @default.
- W1566456098 hasConceptScore W1566456098C88380143 @default.
- W1566456098 hasIssue "6" @default.
- W1566456098 hasLocation W15664560981 @default.
- W1566456098 hasOpenAccess W1566456098 @default.
- W1566456098 hasPrimaryLocation W15664560981 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W1566456098 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W1579942948 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W1986292973 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W2024031860 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W2050778953 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W2057307363 @default.
- W1566456098 hasRelatedWork W3115441425 @default.