Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1569279659> ?p ?o ?g. }
- W1569279659 endingPage "33" @default.
- W1569279659 startingPage "1" @default.
- W1569279659 created "2016-06-24" @default.
- W1569279659 creator A5003217649 @default.
- W1569279659 date "2013-01-01" @default.
- W1569279659 modified "2023-09-27" @default.
- W1569279659 title "ALD: Atomic Layer Deposition, Precise and Conformal Coating for Better Performance" @default.
- W1569279659 cites W1627659639 @default.
- W1569279659 cites W1645764499 @default.
- W1569279659 cites W1665344004 @default.
- W1569279659 cites W1969020364 @default.
- W1569279659 cites W1972104763 @default.
- W1569279659 cites W1972566389 @default.
- W1569279659 cites W1974769955 @default.
- W1569279659 cites W1975246829 @default.
- W1569279659 cites W1978622662 @default.
- W1569279659 cites W1984384393 @default.
- W1569279659 cites W1987358011 @default.
- W1569279659 cites W1987397621 @default.
- W1569279659 cites W1987596999 @default.
- W1569279659 cites W1992933782 @default.
- W1569279659 cites W1993243846 @default.
- W1569279659 cites W1995191254 @default.
- W1569279659 cites W1998534931 @default.
- W1569279659 cites W2000399637 @default.
- W1569279659 cites W2000894043 @default.
- W1569279659 cites W2004423132 @default.
- W1569279659 cites W2008073477 @default.
- W1569279659 cites W2009125029 @default.
- W1569279659 cites W2010716222 @default.
- W1569279659 cites W2012445711 @default.
- W1569279659 cites W2013901062 @default.
- W1569279659 cites W2017173496 @default.
- W1569279659 cites W2019879943 @default.
- W1569279659 cites W2024353390 @default.
- W1569279659 cites W2031598057 @default.
- W1569279659 cites W2034324012 @default.
- W1569279659 cites W2034483816 @default.
- W1569279659 cites W2035931858 @default.
- W1569279659 cites W2041923506 @default.
- W1569279659 cites W2049472117 @default.
- W1569279659 cites W2061454638 @default.
- W1569279659 cites W2064024605 @default.
- W1569279659 cites W2066510743 @default.
- W1569279659 cites W2066649429 @default.
- W1569279659 cites W2070653146 @default.
- W1569279659 cites W2074358422 @default.
- W1569279659 cites W2076306638 @default.
- W1569279659 cites W2077948549 @default.
- W1569279659 cites W2080159084 @default.
- W1569279659 cites W2080376447 @default.
- W1569279659 cites W2090861359 @default.
- W1569279659 cites W2094477992 @default.
- W1569279659 cites W2105042971 @default.
- W1569279659 cites W2112614773 @default.
- W1569279659 cites W2112839302 @default.
- W1569279659 cites W2115651894 @default.
- W1569279659 cites W2116909531 @default.
- W1569279659 cites W2121881130 @default.
- W1569279659 cites W2154411458 @default.
- W1569279659 cites W2156844210 @default.
- W1569279659 cites W2165137301 @default.
- W1569279659 cites W2253896427 @default.
- W1569279659 cites W2470357878 @default.
- W1569279659 doi "https://doi.org/10.1007/978-1-4471-4976-7_80-1" @default.
- W1569279659 hasPublicationYear "2013" @default.
- W1569279659 type Work @default.
- W1569279659 sameAs 1569279659 @default.
- W1569279659 citedByCount "1" @default.
- W1569279659 countsByYear W15692796592020 @default.
- W1569279659 crossrefType "book-chapter" @default.
- W1569279659 hasAuthorship W1569279659A5003217649 @default.
- W1569279659 hasConcept C127313418 @default.
- W1569279659 hasConcept C151730666 @default.
- W1569279659 hasConcept C171250308 @default.
- W1569279659 hasConcept C192562407 @default.
- W1569279659 hasConcept C2524010 @default.
- W1569279659 hasConcept C2777421745 @default.
- W1569279659 hasConcept C2779227376 @default.
- W1569279659 hasConcept C2781448156 @default.
- W1569279659 hasConcept C2816523 @default.
- W1569279659 hasConcept C33923547 @default.
- W1569279659 hasConcept C64297162 @default.
- W1569279659 hasConcept C69544855 @default.
- W1569279659 hasConcept C98214594 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C127313418 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C151730666 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C171250308 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C192562407 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C2524010 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C2777421745 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C2779227376 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C2781448156 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C2816523 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C33923547 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C64297162 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C69544855 @default.
- W1569279659 hasConceptScore W1569279659C98214594 @default.
- W1569279659 hasLocation W15692796591 @default.
- W1569279659 hasOpenAccess W1569279659 @default.