Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1609787373> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 60 of
60
with 100 items per page.
- W1609787373 created "2016-06-24" @default.
- W1609787373 creator A5032226162 @default.
- W1609787373 creator A5051756799 @default.
- W1609787373 creator A5053352067 @default.
- W1609787373 creator A5076911620 @default.
- W1609787373 creator A5089066074 @default.
- W1609787373 date "2009-10-22" @default.
- W1609787373 modified "2023-10-08" @default.
- W1609787373 title "A role of low pressure plasma discharge on etch rate of SiO$_2$ dummy wafer" @default.
- W1609787373 hasPublicationYear "2009" @default.
- W1609787373 type Work @default.
- W1609787373 sameAs 1609787373 @default.
- W1609787373 citedByCount "0" @default.
- W1609787373 crossrefType "journal-article" @default.
- W1609787373 hasAuthorship W1609787373A5032226162 @default.
- W1609787373 hasAuthorship W1609787373A5051756799 @default.
- W1609787373 hasAuthorship W1609787373A5053352067 @default.
- W1609787373 hasAuthorship W1609787373A5076911620 @default.
- W1609787373 hasAuthorship W1609787373A5089066074 @default.
- W1609787373 hasConcept C121332964 @default.
- W1609787373 hasConcept C160671074 @default.
- W1609787373 hasConcept C185544564 @default.
- W1609787373 hasConcept C192562407 @default.
- W1609787373 hasConcept C49040817 @default.
- W1609787373 hasConcept C60581705 @default.
- W1609787373 hasConcept C82706917 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C121332964 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C160671074 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C185544564 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C192562407 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C49040817 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C60581705 @default.
- W1609787373 hasConceptScore W1609787373C82706917 @default.
- W1609787373 hasLocation W16097873731 @default.
- W1609787373 hasOpenAccess W1609787373 @default.
- W1609787373 hasPrimaryLocation W16097873731 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W175137686 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W1975267305 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W1986868360 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W1990549998 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2023107509 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2025884423 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2031434171 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2055993378 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2065108417 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2088430905 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2127744021 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2229162675 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2332230386 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2920452938 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2995098401 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W50977855 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W1524463236 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2183801886 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2203234307 @default.
- W1609787373 hasRelatedWork W2296589054 @default.
- W1609787373 isParatext "false" @default.
- W1609787373 isRetracted "false" @default.
- W1609787373 magId "1609787373" @default.
- W1609787373 workType "article" @default.