Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1966671919> ?p ?o ?g. }
- W1966671919 endingPage "556" @default.
- W1966671919 startingPage "551" @default.
- W1966671919 created "2016-06-24" @default.
- W1966671919 creator A5011788500 @default.
- W1966671919 creator A5024316494 @default.
- W1966671919 creator A5035573065 @default.
- W1966671919 creator A5048361079 @default.
- W1966671919 creator A5060889655 @default.
- W1966671919 creator A5090536127 @default.
- W1966671919 date "2014-05-01" @default.
- W1966671919 modified "2023-10-01" @default.
- W1966671919 title "Thermal stability, adhesion and electrical studies on (Ti,Zr)N x thin films as low resistive diffusion barriers between Cu and Si" @default.
- W1966671919 cites W1964958598 @default.
- W1966671919 cites W1966782256 @default.
- W1966671919 cites W1969147017 @default.
- W1966671919 cites W1979031160 @default.
- W1966671919 cites W2000289555 @default.
- W1966671919 cites W2007937186 @default.
- W1966671919 cites W2014649041 @default.
- W1966671919 cites W2038602806 @default.
- W1966671919 cites W2043326609 @default.
- W1966671919 cites W2045333154 @default.
- W1966671919 cites W2059182905 @default.
- W1966671919 cites W2060271949 @default.
- W1966671919 cites W2063947867 @default.
- W1966671919 cites W2068386399 @default.
- W1966671919 cites W2069541330 @default.
- W1966671919 cites W2080295790 @default.
- W1966671919 cites W2086823407 @default.
- W1966671919 cites W2087549444 @default.
- W1966671919 cites W2092237910 @default.
- W1966671919 cites W2115609956 @default.
- W1966671919 cites W2138916156 @default.
- W1966671919 cites W2143187294 @default.
- W1966671919 cites W2146657913 @default.
- W1966671919 cites W4233428518 @default.
- W1966671919 cites W2148092388 @default.
- W1966671919 doi "https://doi.org/10.1007/s13391-013-3145-8" @default.
- W1966671919 hasPublicationYear "2014" @default.
- W1966671919 type Work @default.
- W1966671919 sameAs 1966671919 @default.
- W1966671919 citedByCount "5" @default.
- W1966671919 countsByYear W19666719192017 @default.
- W1966671919 countsByYear W19666719192020 @default.
- W1966671919 countsByYear W19666719192021 @default.
- W1966671919 countsByYear W19666719192022 @default.
- W1966671919 crossrefType "journal-article" @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5011788500 @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5024316494 @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5035573065 @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5048361079 @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5060889655 @default.
- W1966671919 hasAuthorship W1966671919A5090536127 @default.
- W1966671919 hasConcept C113196181 @default.
- W1966671919 hasConcept C119599485 @default.
- W1966671919 hasConcept C127413603 @default.
- W1966671919 hasConcept C134514944 @default.
- W1966671919 hasConcept C138055206 @default.
- W1966671919 hasConcept C159985019 @default.
- W1966671919 hasConcept C171250308 @default.
- W1966671919 hasConcept C185592680 @default.
- W1966671919 hasConcept C19067145 @default.
- W1966671919 hasConcept C191897082 @default.
- W1966671919 hasConcept C192562407 @default.
- W1966671919 hasConcept C22423302 @default.
- W1966671919 hasConcept C2777855556 @default.
- W1966671919 hasConcept C2778836790 @default.
- W1966671919 hasConcept C2779227376 @default.
- W1966671919 hasConcept C42360764 @default.
- W1966671919 hasConcept C43617362 @default.
- W1966671919 hasConcept C59061564 @default.
- W1966671919 hasConcept C61427134 @default.
- W1966671919 hasConcept C66825105 @default.
- W1966671919 hasConcept C69990965 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C113196181 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C119599485 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C127413603 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C134514944 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C138055206 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C159985019 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C171250308 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C185592680 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C19067145 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C191897082 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C192562407 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C22423302 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C2777855556 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C2778836790 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C2779227376 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C42360764 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C43617362 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C59061564 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C61427134 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C66825105 @default.
- W1966671919 hasConceptScore W1966671919C69990965 @default.
- W1966671919 hasIssue "3" @default.
- W1966671919 hasLocation W19666719191 @default.
- W1966671919 hasOpenAccess W1966671919 @default.
- W1966671919 hasPrimaryLocation W19666719191 @default.
- W1966671919 hasRelatedWork W1968373997 @default.