Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W1972785343> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 85 of
85
with 100 items per page.
- W1972785343 created "2016-06-24" @default.
- W1972785343 creator A5007688090 @default.
- W1972785343 creator A5019736655 @default.
- W1972785343 creator A5046217107 @default.
- W1972785343 date "1998-01-01" @default.
- W1972785343 modified "2023-09-23" @default.
- W1972785343 title "In SITU Spectroscopic Diagnostics of the Influence of Chamber Wall Polymer on Oxide Etch Rate" @default.
- W1972785343 cites W1966926222 @default.
- W1972785343 cites W1968590512 @default.
- W1972785343 cites W1990345488 @default.
- W1972785343 cites W1991914920 @default.
- W1972785343 cites W2010011681 @default.
- W1972785343 cites W2017270223 @default.
- W1972785343 cites W2020484319 @default.
- W1972785343 cites W2048916710 @default.
- W1972785343 cites W2063742019 @default.
- W1972785343 cites W2087456409 @default.
- W1972785343 cites W2088430905 @default.
- W1972785343 cites W2090453551 @default.
- W1972785343 doi "https://doi.org/10.1557/proc-544-197" @default.
- W1972785343 hasPublicationYear "1998" @default.
- W1972785343 type Work @default.
- W1972785343 sameAs 1972785343 @default.
- W1972785343 citedByCount "1" @default.
- W1972785343 crossrefType "journal-article" @default.
- W1972785343 hasAuthorship W1972785343A5007688090 @default.
- W1972785343 hasAuthorship W1972785343A5019736655 @default.
- W1972785343 hasAuthorship W1972785343A5046217107 @default.
- W1972785343 hasConcept C113196181 @default.
- W1972785343 hasConcept C127413603 @default.
- W1972785343 hasConcept C151730666 @default.
- W1972785343 hasConcept C159985019 @default.
- W1972785343 hasConcept C185592680 @default.
- W1972785343 hasConcept C191897082 @default.
- W1972785343 hasConcept C192562407 @default.
- W1972785343 hasConcept C2776875633 @default.
- W1972785343 hasConcept C2779851234 @default.
- W1972785343 hasConcept C2816523 @default.
- W1972785343 hasConcept C42360764 @default.
- W1972785343 hasConcept C43617362 @default.
- W1972785343 hasConcept C521977710 @default.
- W1972785343 hasConcept C64297162 @default.
- W1972785343 hasConcept C86803240 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C113196181 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C127413603 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C151730666 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C159985019 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C185592680 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C191897082 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C192562407 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C2776875633 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C2779851234 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C2816523 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C42360764 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C43617362 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C521977710 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C64297162 @default.
- W1972785343 hasConceptScore W1972785343C86803240 @default.
- W1972785343 hasLocation W19727853431 @default.
- W1972785343 hasOpenAccess W1972785343 @default.
- W1972785343 hasPrimaryLocation W19727853431 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W1479846004 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W1556658675 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W1975267305 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W1978143528 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W1986868360 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2031434171 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2042730456 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2045544987 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2055993378 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2064096204 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2087535049 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2091861344 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2128775664 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2154867087 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2248245999 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2296206525 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2906838515 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W3167779510 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W39889625 @default.
- W1972785343 hasRelatedWork W2187250735 @default.
- W1972785343 isParatext "false" @default.
- W1972785343 isRetracted "false" @default.
- W1972785343 magId "1972785343" @default.
- W1972785343 workType "article" @default.