Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2078293633> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 86 of
86
with 100 items per page.
- W2078293633 created "2016-06-24" @default.
- W2078293633 creator A5002700680 @default.
- W2078293633 creator A5004814847 @default.
- W2078293633 creator A5017861176 @default.
- W2078293633 creator A5038143031 @default.
- W2078293633 creator A5039969232 @default.
- W2078293633 creator A5054898329 @default.
- W2078293633 creator A5064835311 @default.
- W2078293633 date "1987-01-01" @default.
- W2078293633 modified "2023-09-24" @default.
- W2078293633 title "Recent Progress in Excimer Laser Lithography" @default.
- W2078293633 cites W1977495582 @default.
- W2078293633 cites W2066137917 @default.
- W2078293633 cites W2075543283 @default.
- W2078293633 cites W2089746739 @default.
- W2078293633 cites W2131419097 @default.
- W2078293633 doi "https://doi.org/10.1557/proc-101-3" @default.
- W2078293633 hasPublicationYear "1987" @default.
- W2078293633 type Work @default.
- W2078293633 sameAs 2078293633 @default.
- W2078293633 citedByCount "3" @default.
- W2078293633 crossrefType "journal-article" @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5002700680 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5004814847 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5017861176 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5038143031 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5039969232 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5054898329 @default.
- W2078293633 hasAuthorship W2078293633A5064835311 @default.
- W2078293633 hasConcept C100460472 @default.
- W2078293633 hasConcept C105487726 @default.
- W2078293633 hasConcept C120665830 @default.
- W2078293633 hasConcept C121332964 @default.
- W2078293633 hasConcept C121535716 @default.
- W2078293633 hasConcept C15336307 @default.
- W2078293633 hasConcept C171250308 @default.
- W2078293633 hasConcept C192562407 @default.
- W2078293633 hasConcept C200274948 @default.
- W2078293633 hasConcept C204223013 @default.
- W2078293633 hasConcept C2779227376 @default.
- W2078293633 hasConcept C2780477314 @default.
- W2078293633 hasConcept C49040817 @default.
- W2078293633 hasConcept C520434653 @default.
- W2078293633 hasConcept C53524968 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C100460472 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C105487726 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C120665830 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C121332964 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C121535716 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C15336307 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C171250308 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C192562407 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C200274948 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C204223013 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C2779227376 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C2780477314 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C49040817 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C520434653 @default.
- W2078293633 hasConceptScore W2078293633C53524968 @default.
- W2078293633 hasLocation W20782936331 @default.
- W2078293633 hasOpenAccess W2078293633 @default.
- W2078293633 hasPrimaryLocation W20782936331 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1547566152 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1971705391 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1975709598 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1980131984 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1996949467 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1999283028 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2014212607 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2016778947 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2030071218 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2032763411 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2060195579 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2068084517 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2070311138 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2070836883 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2071036596 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2075543283 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2075977180 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2160682960 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W2370484637 @default.
- W2078293633 hasRelatedWork W1850243050 @default.
- W2078293633 isParatext "false" @default.
- W2078293633 isRetracted "false" @default.
- W2078293633 magId "2078293633" @default.
- W2078293633 workType "article" @default.