Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2104446084> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 89 of
89
with 100 items per page.
- W2104446084 endingPage "34" @default.
- W2104446084 startingPage "28" @default.
- W2104446084 created "2016-06-24" @default.
- W2104446084 creator A5000602292 @default.
- W2104446084 creator A5013264893 @default.
- W2104446084 creator A5036673603 @default.
- W2104446084 creator A5036973759 @default.
- W2104446084 creator A5064630364 @default.
- W2104446084 date "2010-06-01" @default.
- W2104446084 modified "2023-10-10" @default.
- W2104446084 title "PECVD silicon carbide surface micromachining technology and selected MEMS applications" @default.
- W2104446084 cites W1970311093 @default.
- W2104446084 cites W2003766830 @default.
- W2104446084 cites W2015383953 @default.
- W2104446084 cites W2018019678 @default.
- W2104446084 cites W2026974411 @default.
- W2104446084 cites W2063124155 @default.
- W2104446084 cites W2084064945 @default.
- W2104446084 cites W2085316783 @default.
- W2104446084 cites W2125443191 @default.
- W2104446084 cites W2147142329 @default.
- W2104446084 doi "https://doi.org/10.1007/s12572-010-0020-9" @default.
- W2104446084 hasPublicationYear "2010" @default.
- W2104446084 type Work @default.
- W2104446084 sameAs 2104446084 @default.
- W2104446084 citedByCount "4" @default.
- W2104446084 countsByYear W21044460842012 @default.
- W2104446084 countsByYear W21044460842019 @default.
- W2104446084 crossrefType "journal-article" @default.
- W2104446084 hasAuthorship W2104446084A5000602292 @default.
- W2104446084 hasAuthorship W2104446084A5013264893 @default.
- W2104446084 hasAuthorship W2104446084A5036673603 @default.
- W2104446084 hasAuthorship W2104446084A5036973759 @default.
- W2104446084 hasAuthorship W2104446084A5064630364 @default.
- W2104446084 hasConcept C127413603 @default.
- W2104446084 hasConcept C136525101 @default.
- W2104446084 hasConcept C142724271 @default.
- W2104446084 hasConcept C145667562 @default.
- W2104446084 hasConcept C151054161 @default.
- W2104446084 hasConcept C160671074 @default.
- W2104446084 hasConcept C171250308 @default.
- W2104446084 hasConcept C191897082 @default.
- W2104446084 hasConcept C192562407 @default.
- W2104446084 hasConcept C204787440 @default.
- W2104446084 hasConcept C24326235 @default.
- W2104446084 hasConcept C2780722187 @default.
- W2104446084 hasConcept C37977207 @default.
- W2104446084 hasConcept C38347018 @default.
- W2104446084 hasConcept C41075158 @default.
- W2104446084 hasConcept C49040817 @default.
- W2104446084 hasConcept C544956773 @default.
- W2104446084 hasConcept C71924100 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C127413603 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C136525101 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C142724271 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C145667562 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C151054161 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C160671074 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C171250308 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C191897082 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C192562407 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C204787440 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C24326235 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C2780722187 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C37977207 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C38347018 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C41075158 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C49040817 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C544956773 @default.
- W2104446084 hasConceptScore W2104446084C71924100 @default.
- W2104446084 hasIssue "1-2" @default.
- W2104446084 hasLocation W21044460841 @default.
- W2104446084 hasOpenAccess W2104446084 @default.
- W2104446084 hasPrimaryLocation W21044460841 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W1645944157 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W1976204977 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W1981865689 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W1990814609 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2014091883 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2060831958 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2104446084 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2118834669 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2163891117 @default.
- W2104446084 hasRelatedWork W2137530101 @default.
- W2104446084 hasVolume "2" @default.
- W2104446084 isParatext "false" @default.
- W2104446084 isRetracted "false" @default.
- W2104446084 magId "2104446084" @default.
- W2104446084 workType "article" @default.