FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2173515027> ?p ?o ?g. }

• W2173515027 endingPage "P3024" @default.
• W2173515027 startingPage "P3018" @default.
• W2173515027 created "2016-06-24" @default.
• W2173515027 creator A5006599064 @default.
• W2173515027 creator A5011882302 @default.
• W2173515027 creator A5012286448 @default.
• W2173515027 creator A5018269002 @default.
• W2173515027 creator A5039739602 @default.
• W2173515027 creator A5046954964 @default.
• W2173515027 creator A5067923335 @default.
• W2173515027 creator A5071509425 @default.
• W2173515027 date "2015-10-15" @default.
• W2173515027 modified "2023-10-13" @default.
• W2173515027 title "Nanoscale Chemical-Mechanical Characterization of Nanoelectronic Low-<i>k</i>Dielectric/Cu Interconnects" @default.
• W2173515027 cites W1535596374 @default.
• W2173515027 cites W1623815182 @default.
• W2173515027 cites W1966266757 @default.
• W2173515027 cites W1969034636 @default.
• W2173515027 cites W1976718045 @default.
• W2173515027 cites W1979146461 @default.
• W2173515027 cites W1979468312 @default.
• W2173515027 cites W1980259678 @default.
• W2173515027 cites W1981969726 @default.
• W2173515027 cites W1985692567 @default.
• W2173515027 cites W1986468641 @default.
• W2173515027 cites W1991876911 @default.
• W2173515027 cites W1992482631 @default.
• W2173515027 cites W1998153935 @default.
• W2173515027 cites W2002952215 @default.
• W2173515027 cites W2003694162 @default.
• W2173515027 cites W2007826165 @default.
• W2173515027 cites W2009221461 @default.
• W2173515027 cites W2009967254 @default.
• W2173515027 cites W2012719772 @default.
• W2173515027 cites W2014944380 @default.
• W2173515027 cites W2015447425 @default.
• W2173515027 cites W2019664573 @default.
• W2173515027 cites W2020441562 @default.
• W2173515027 cites W2022048231 @default.
• W2173515027 cites W2027350181 @default.
• W2173515027 cites W2028401121 @default.
• W2173515027 cites W2029281780 @default.
• W2173515027 cites W2035798325 @default.
• W2173515027 cites W2036048236 @default.
• W2173515027 cites W2036244219 @default.
• W2173515027 cites W2037489857 @default.
• W2173515027 cites W2038671844 @default.
• W2173515027 cites W2049263806 @default.
• W2173515027 cites W2054235095 @default.
• W2173515027 cites W2059581156 @default.
• W2173515027 cites W2061028492 @default.
• W2173515027 cites W2061401334 @default.
• W2173515027 cites W2062506665 @default.
• W2173515027 cites W2066344144 @default.
• W2173515027 cites W2072131485 @default.
• W2173515027 cites W2076310255 @default.
• W2173515027 cites W2076633542 @default.
• W2173515027 cites W2080038493 @default.
• W2173515027 cites W2082683525 @default.
• W2173515027 cites W2088808604 @default.
• W2173515027 cites W2089751703 @default.
• W2173515027 cites W2090535057 @default.
• W2173515027 cites W2116321304 @default.
• W2173515027 cites W2119089023 @default.
• W2173515027 cites W2130907489 @default.
• W2173515027 cites W2136347825 @default.
• W2173515027 cites W2151198402 @default.
• W2173515027 cites W2154602083 @default.
• W2173515027 cites W2166096548 @default.
• W2173515027 cites W2168991713 @default.
• W2173515027 cites W2171565772 @default.
• W2173515027 cites W2316193249 @default.
• W2173515027 cites W2318294200 @default.
• W2173515027 cites W2319632269 @default.
• W2173515027 cites W2322934645 @default.
• W2173515027 cites W2334571954 @default.
• W2173515027 cites W2488640140 @default.
• W2173515027 cites W318437879 @default.
• W2173515027 doi "https://doi.org/10.1149/2.0041604jss" @default.
• W2173515027 hasPublicationYear "2015" @default.
• W2173515027 type Work @default.
• W2173515027 sameAs 2173515027 @default.
• W2173515027 citedByCount "21" @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272016 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272017 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272018 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272019 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272020 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272021 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272022 @default.
• W2173515027 countsByYear W21735150272023 @default.
• W2173515027 crossrefType "journal-article" @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5006599064 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5011882302 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5012286448 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5018269002 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5039739602 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5046954964 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5067923335 @default.
• W2173515027 hasAuthorship W2173515027A5071509425 @default.

• next