Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2175127359> ?p ?o ?g. }
- W2175127359 endingPage "266" @default.
- W2175127359 startingPage "252" @default.
- W2175127359 created "2016-06-24" @default.
- W2175127359 creator A5005743728 @default.
- W2175127359 creator A5009266428 @default.
- W2175127359 creator A5027025411 @default.
- W2175127359 creator A5030840278 @default.
- W2175127359 creator A5032231706 @default.
- W2175127359 creator A5032568284 @default.
- W2175127359 creator A5042301565 @default.
- W2175127359 creator A5048896544 @default.
- W2175127359 creator A5055952191 @default.
- W2175127359 creator A5057030701 @default.
- W2175127359 creator A5058103656 @default.
- W2175127359 creator A5060227270 @default.
- W2175127359 creator A5060341807 @default.
- W2175127359 creator A5062033510 @default.
- W2175127359 creator A5071079559 @default.
- W2175127359 creator A5084092106 @default.
- W2175127359 creator A5087091790 @default.
- W2175127359 creator A5088886812 @default.
- W2175127359 date "2006-01-18" @default.
- W2175127359 modified "2023-09-26" @default.
- W2175127359 title "EUVA’s challenges toward 0.1nm accuracy in EUV at-wavelength interferometry" @default.
- W2175127359 cites W2001543265 @default.
- W2175127359 cites W2023545939 @default.
- W2175127359 cites W2044785336 @default.
- W2175127359 cites W2064176573 @default.
- W2175127359 cites W2065013540 @default.
- W2175127359 cites W2078243939 @default.
- W2175127359 cites W2080433527 @default.
- W2175127359 cites W2082394705 @default.
- W2175127359 cites W2125624206 @default.
- W2175127359 cites W2166560970 @default.
- W2175127359 cites W4237930338 @default.
- W2175127359 cites W4253867788 @default.
- W2175127359 doi "https://doi.org/10.1007/3-540-29303-5_35" @default.
- W2175127359 hasPublicationYear "2006" @default.
- W2175127359 type Work @default.
- W2175127359 sameAs 2175127359 @default.
- W2175127359 citedByCount "1" @default.
- W2175127359 crossrefType "book-chapter" @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5005743728 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5009266428 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5027025411 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5030840278 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5032231706 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5032568284 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5042301565 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5048896544 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5055952191 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5057030701 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5058103656 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5060227270 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5060341807 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5062033510 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5071079559 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5084092106 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5087091790 @default.
- W2175127359 hasAuthorship W2175127359A5088886812 @default.
- W2175127359 hasConcept C120665830 @default.
- W2175127359 hasConcept C121332964 @default.
- W2175127359 hasConcept C132771110 @default.
- W2175127359 hasConcept C162996421 @default.
- W2175127359 hasConcept C165699331 @default.
- W2175127359 hasConcept C165838908 @default.
- W2175127359 hasConcept C166689943 @default.
- W2175127359 hasConcept C195766429 @default.
- W2175127359 hasConcept C202799725 @default.
- W2175127359 hasConcept C204223013 @default.
- W2175127359 hasConcept C62520636 @default.
- W2175127359 hasConcept C6260449 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C120665830 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C121332964 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C132771110 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C162996421 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C165699331 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C165838908 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C166689943 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C195766429 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C202799725 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C204223013 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C62520636 @default.
- W2175127359 hasConceptScore W2175127359C6260449 @default.
- W2175127359 hasLocation W21751273591 @default.
- W2175127359 hasOpenAccess W2175127359 @default.
- W2175127359 hasPrimaryLocation W21751273591 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1492521813 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1565771601 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1617396987 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1973612689 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1988627834 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W1991873737 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2010379907 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2010412297 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2026173987 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2038445300 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2079246402 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2616832851 @default.
- W2175127359 hasRelatedWork W2747594292 @default.