Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2280659144> ?p ?o ?g. }
- W2280659144 created "2016-06-24" @default.
- W2280659144 creator A5005734496 @default.
- W2280659144 creator A5056244967 @default.
- W2280659144 creator A5078580218 @default.
- W2280659144 creator A5082522882 @default.
- W2280659144 date "2002-01-01" @default.
- W2280659144 modified "2023-09-24" @default.
- W2280659144 title "Expanding Thermal Plasma Deposition of Silicon Dioxide-Like Films for Microelectronic Devices" @default.
- W2280659144 cites W1622550588 @default.
- W2280659144 cites W1970891182 @default.
- W2280659144 cites W2001153232 @default.
- W2280659144 cites W2005472614 @default.
- W2280659144 cites W2071958669 @default.
- W2280659144 cites W2126856326 @default.
- W2280659144 cites W2131899015 @default.
- W2280659144 cites W2145492778 @default.
- W2280659144 cites W2172168358 @default.
- W2280659144 cites W594458546 @default.
- W2280659144 doi "https://doi.org/10.1557/proc-715-a19.3" @default.
- W2280659144 hasPublicationYear "2002" @default.
- W2280659144 type Work @default.
- W2280659144 sameAs 2280659144 @default.
- W2280659144 citedByCount "7" @default.
- W2280659144 countsByYear W22806591442015 @default.
- W2280659144 crossrefType "journal-article" @default.
- W2280659144 hasAuthorship W2280659144A5005734496 @default.
- W2280659144 hasAuthorship W2280659144A5056244967 @default.
- W2280659144 hasAuthorship W2280659144A5078580218 @default.
- W2280659144 hasAuthorship W2280659144A5082522882 @default.
- W2280659144 hasConcept C113196181 @default.
- W2280659144 hasConcept C121332964 @default.
- W2280659144 hasConcept C127413603 @default.
- W2280659144 hasConcept C151730666 @default.
- W2280659144 hasConcept C159985019 @default.
- W2280659144 hasConcept C160892712 @default.
- W2280659144 hasConcept C171250308 @default.
- W2280659144 hasConcept C178790620 @default.
- W2280659144 hasConcept C18293161 @default.
- W2280659144 hasConcept C185592680 @default.
- W2280659144 hasConcept C187937830 @default.
- W2280659144 hasConcept C19067145 @default.
- W2280659144 hasConcept C192562407 @default.
- W2280659144 hasConcept C2776551725 @default.
- W2280659144 hasConcept C2779089622 @default.
- W2280659144 hasConcept C2816523 @default.
- W2280659144 hasConcept C42067758 @default.
- W2280659144 hasConcept C42360764 @default.
- W2280659144 hasConcept C49040817 @default.
- W2280659144 hasConcept C544956773 @default.
- W2280659144 hasConcept C62520636 @default.
- W2280659144 hasConcept C64297162 @default.
- W2280659144 hasConcept C82706917 @default.
- W2280659144 hasConcept C86803240 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C113196181 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C121332964 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C127413603 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C151730666 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C159985019 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C160892712 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C171250308 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C178790620 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C18293161 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C185592680 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C187937830 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C19067145 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C192562407 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C2776551725 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C2779089622 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C2816523 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C42067758 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C42360764 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C49040817 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C544956773 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C62520636 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C64297162 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C82706917 @default.
- W2280659144 hasConceptScore W2280659144C86803240 @default.
- W2280659144 hasLocation W22806591441 @default.
- W2280659144 hasOpenAccess W2280659144 @default.
- W2280659144 hasPrimaryLocation W22806591441 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W1972080698 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W1979030466 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W1984757397 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2020367939 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2022301514 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2027578499 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2031193158 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2043092701 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2052247282 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2059178000 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2075856882 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2077647088 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2084770039 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2092361086 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2104607214 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2106744556 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2121020492 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2163835666 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W2942930534 @default.
- W2280659144 hasRelatedWork W75474233 @default.