FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2286863473> ?p ?o ?g. }

• W2286863473 created "2016-06-24" @default.
• W2286863473 creator A5032383864 @default.
• W2286863473 date "2015-12-01" @default.
• W2286863473 modified "2023-09-27" @default.
• W2286863473 title "Fabrication and properties of silicon-nitride films deposited by using PECVD with a tris(dimethylamino)silane of aminosilane precursor" @default.
• W2286863473 cites W1555969351 @default.
• W2286863473 cites W2025522567 @default.
• W2286863473 cites W2122411493 @default.
• W2286863473 cites W2156206527 @default.
• W2286863473 cites W2164571652 @default.
• W2286863473 cites W2182409481 @default.
• W2286863473 cites W2203155001 @default.
• W2286863473 cites W3147289055 @default.
• W2286863473 doi "https://doi.org/10.3938/jkps.67.2115" @default.
• W2286863473 hasPublicationYear "2015" @default.
• W2286863473 type Work @default.
• W2286863473 sameAs 2286863473 @default.
• W2286863473 citedByCount "5" @default.
• W2286863473 countsByYear W22868634732017 @default.
• W2286863473 countsByYear W22868634732018 @default.
• W2286863473 countsByYear W22868634732020 @default.
• W2286863473 countsByYear W22868634732021 @default.
• W2286863473 countsByYear W22868634732022 @default.
• W2286863473 crossrefType "journal-article" @default.
• W2286863473 hasAuthorship W2286863473A5032383864 @default.
• W2286863473 hasConcept C111368507 @default.
• W2286863473 hasConcept C113196181 @default.
• W2286863473 hasConcept C121332964 @default.
• W2286863473 hasConcept C127313418 @default.
• W2286863473 hasConcept C127413603 @default.
• W2286863473 hasConcept C159985019 @default.
• W2286863473 hasConcept C171250308 @default.
• W2286863473 hasConcept C175708663 @default.
• W2286863473 hasConcept C178790620 @default.
• W2286863473 hasConcept C185592680 @default.
• W2286863473 hasConcept C19067145 @default.
• W2286863473 hasConcept C192562407 @default.
• W2286863473 hasConcept C194760766 @default.
• W2286863473 hasConcept C2777289219 @default.
• W2286863473 hasConcept C2777431650 @default.
• W2286863473 hasConcept C2778024649 @default.
• W2286863473 hasConcept C2779227376 @default.
• W2286863473 hasConcept C38347018 @default.
• W2286863473 hasConcept C42360764 @default.
• W2286863473 hasConcept C49040817 @default.
• W2286863473 hasConcept C537208039 @default.
• W2286863473 hasConcept C544956773 @default.
• W2286863473 hasConcept C57410435 @default.
• W2286863473 hasConcept C60799052 @default.
• W2286863473 hasConcept C62520636 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C111368507 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C113196181 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C121332964 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C127313418 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C127413603 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C159985019 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C171250308 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C175708663 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C178790620 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C185592680 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C19067145 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C192562407 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C194760766 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C2777289219 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C2777431650 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C2778024649 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C2779227376 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C38347018 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C42360764 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C49040817 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C537208039 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C544956773 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C57410435 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C60799052 @default.
• W2286863473 hasConceptScore W2286863473C62520636 @default.
• W2286863473 hasLocation W22868634731 @default.
• W2286863473 hasOpenAccess W2286863473 @default.
• W2286863473 hasPrimaryLocation W22868634731 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W1481133462 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W1970078324 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W1973644949 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W1990624522 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2001377424 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2002843107 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2007162687 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2015030554 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2044405841 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2080000404 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2083660854 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2167360488 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2313960798 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2345472049 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2559800326 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2595542153 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2605535409 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2797945640 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W2953100696 @default.
• W2286863473 hasRelatedWork W1600273714 @default.
• W2286863473 isParatext "false" @default.
• W2286863473 isRetracted "false" @default.

• next