Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2293875571> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 77 of
77
with 100 items per page.
- W2293875571 endingPage "1639" @default.
- W2293875571 startingPage "1634" @default.
- W2293875571 created "2016-06-24" @default.
- W2293875571 creator A5003390260 @default.
- W2293875571 creator A5085836223 @default.
- W2293875571 date "2016-01-19" @default.
- W2293875571 modified "2023-09-24" @default.
- W2293875571 title "Effects of Substrate Bias on the Hardness and Resistivity of Reactively Sputtered TaN and TiN Thin Films" @default.
- W2293875571 cites W1964894292 @default.
- W2293875571 cites W1965844054 @default.
- W2293875571 cites W1965844599 @default.
- W2293875571 cites W1970800399 @default.
- W2293875571 cites W1973833155 @default.
- W2293875571 cites W2020340735 @default.
- W2293875571 cites W2024849425 @default.
- W2293875571 cites W2028672453 @default.
- W2293875571 cites W2030444818 @default.
- W2293875571 cites W2034885124 @default.
- W2293875571 cites W2060555202 @default.
- W2293875571 cites W2074037723 @default.
- W2293875571 cites W2171404548 @default.
- W2293875571 doi "https://doi.org/10.1007/s11837-015-1809-6" @default.
- W2293875571 hasPublicationYear "2016" @default.
- W2293875571 type Work @default.
- W2293875571 sameAs 2293875571 @default.
- W2293875571 citedByCount "8" @default.
- W2293875571 countsByYear W22938755712018 @default.
- W2293875571 countsByYear W22938755712019 @default.
- W2293875571 countsByYear W22938755712022 @default.
- W2293875571 countsByYear W22938755712023 @default.
- W2293875571 crossrefType "journal-article" @default.
- W2293875571 hasAuthorship W2293875571A5003390260 @default.
- W2293875571 hasAuthorship W2293875571A5085836223 @default.
- W2293875571 hasConcept C111368507 @default.
- W2293875571 hasConcept C119599485 @default.
- W2293875571 hasConcept C127313418 @default.
- W2293875571 hasConcept C127413603 @default.
- W2293875571 hasConcept C159985019 @default.
- W2293875571 hasConcept C171250308 @default.
- W2293875571 hasConcept C19067145 @default.
- W2293875571 hasConcept C191897082 @default.
- W2293875571 hasConcept C192562407 @default.
- W2293875571 hasConcept C2777289219 @default.
- W2293875571 hasConcept C525849907 @default.
- W2293875571 hasConcept C69990965 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C111368507 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C119599485 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C127313418 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C127413603 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C159985019 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C171250308 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C19067145 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C191897082 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C192562407 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C2777289219 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C525849907 @default.
- W2293875571 hasConceptScore W2293875571C69990965 @default.
- W2293875571 hasFunder F4320322120 @default.
- W2293875571 hasIssue "6" @default.
- W2293875571 hasLocation W22938755711 @default.
- W2293875571 hasOpenAccess W2293875571 @default.
- W2293875571 hasPrimaryLocation W22938755711 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W1979042794 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2029473859 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2061915335 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2064715223 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2081874730 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2314731314 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2388498853 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2606255893 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W2997198777 @default.
- W2293875571 hasRelatedWork W3201544005 @default.
- W2293875571 hasVolume "68" @default.
- W2293875571 isParatext "false" @default.
- W2293875571 isRetracted "false" @default.
- W2293875571 magId "2293875571" @default.
- W2293875571 workType "article" @default.