Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2566706618> ?p ?o ?g. }
- W2566706618 created "2017-01-06" @default.
- W2566706618 creator A5077507552 @default.
- W2566706618 date "2016-01-01" @default.
- W2566706618 modified "2023-09-23" @default.
- W2566706618 title "Deposition, characterization, patterning and mechanistic study of inorganic resists for next-generation nanolithography" @default.
- W2566706618 cites W1242424520 @default.
- W2566706618 cites W1505085631 @default.
- W2566706618 cites W1591636867 @default.
- W2566706618 cites W1596409389 @default.
- W2566706618 cites W1617077163 @default.
- W2566706618 cites W1643881973 @default.
- W2566706618 cites W1965298562 @default.
- W2566706618 cites W1966363750 @default.
- W2566706618 cites W1970017443 @default.
- W2566706618 cites W1971998132 @default.
- W2566706618 cites W1973916751 @default.
- W2566706618 cites W1974374350 @default.
- W2566706618 cites W1975752435 @default.
- W2566706618 cites W1975872714 @default.
- W2566706618 cites W1977538383 @default.
- W2566706618 cites W1980284953 @default.
- W2566706618 cites W1981264689 @default.
- W2566706618 cites W1981714549 @default.
- W2566706618 cites W1982186642 @default.
- W2566706618 cites W1983730600 @default.
- W2566706618 cites W1984619478 @default.
- W2566706618 cites W1985623859 @default.
- W2566706618 cites W1988653417 @default.
- W2566706618 cites W1992131368 @default.
- W2566706618 cites W1992342771 @default.
- W2566706618 cites W1992721896 @default.
- W2566706618 cites W1995660891 @default.
- W2566706618 cites W1996353959 @default.
- W2566706618 cites W1999734163 @default.
- W2566706618 cites W2002327079 @default.
- W2566706618 cites W2003451929 @default.
- W2566706618 cites W2005237328 @default.
- W2566706618 cites W2007198334 @default.
- W2566706618 cites W2007310696 @default.
- W2566706618 cites W2010558237 @default.
- W2566706618 cites W2011245885 @default.
- W2566706618 cites W2017376877 @default.
- W2566706618 cites W2018104286 @default.
- W2566706618 cites W2023252339 @default.
- W2566706618 cites W2024430090 @default.
- W2566706618 cites W2025592689 @default.
- W2566706618 cites W2027089282 @default.
- W2566706618 cites W2027253590 @default.
- W2566706618 cites W2027658025 @default.
- W2566706618 cites W2029464594 @default.
- W2566706618 cites W2032372948 @default.
- W2566706618 cites W2032841822 @default.
- W2566706618 cites W2033105313 @default.
- W2566706618 cites W2033961193 @default.
- W2566706618 cites W2037226069 @default.
- W2566706618 cites W2037537680 @default.
- W2566706618 cites W2039043713 @default.
- W2566706618 cites W2043916413 @default.
- W2566706618 cites W2047460416 @default.
- W2566706618 cites W2048146506 @default.
- W2566706618 cites W2048442716 @default.
- W2566706618 cites W2055696697 @default.
- W2566706618 cites W2056348494 @default.
- W2566706618 cites W2057917400 @default.
- W2566706618 cites W2058221257 @default.
- W2566706618 cites W2060590087 @default.
- W2566706618 cites W2065433596 @default.
- W2566706618 cites W2069279649 @default.
- W2566706618 cites W2069449709 @default.
- W2566706618 cites W2069979881 @default.
- W2566706618 cites W2070642572 @default.
- W2566706618 cites W2070876453 @default.
- W2566706618 cites W2071730586 @default.
- W2566706618 cites W2076400754 @default.
- W2566706618 cites W2078013500 @default.
- W2566706618 cites W2079272529 @default.
- W2566706618 cites W2079418923 @default.
- W2566706618 cites W2082726581 @default.
- W2566706618 cites W2083831797 @default.
- W2566706618 cites W2083873154 @default.
- W2566706618 cites W2086591966 @default.
- W2566706618 cites W2087225281 @default.
- W2566706618 cites W2088476064 @default.
- W2566706618 cites W2090572326 @default.
- W2566706618 cites W2090725240 @default.
- W2566706618 cites W2092479549 @default.
- W2566706618 cites W2093049956 @default.
- W2566706618 cites W2094853429 @default.
- W2566706618 cites W2096181514 @default.
- W2566706618 cites W2101310391 @default.
- W2566706618 cites W2106206746 @default.
- W2566706618 cites W2108419511 @default.
- W2566706618 cites W2109096526 @default.
- W2566706618 cites W2111493781 @default.
- W2566706618 cites W2113334515 @default.
- W2566706618 cites W2114391547 @default.
- W2566706618 cites W2119645153 @default.
- W2566706618 cites W2119939467 @default.
- W2566706618 cites W2137146000 @default.
- W2566706618 cites W2139892594 @default.