Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2567758099> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 66 of
66
with 100 items per page.
- W2567758099 endingPage "48" @default.
- W2567758099 startingPage "45" @default.
- W2567758099 created "2017-01-13" @default.
- W2567758099 creator A5012398807 @default.
- W2567758099 creator A5016997434 @default.
- W2567758099 creator A5024423531 @default.
- W2567758099 creator A5026204210 @default.
- W2567758099 creator A5038924633 @default.
- W2567758099 creator A5052986666 @default.
- W2567758099 creator A5055871910 @default.
- W2567758099 creator A5064576679 @default.
- W2567758099 creator A5071034804 @default.
- W2567758099 creator A5075010640 @default.
- W2567758099 creator A5080043018 @default.
- W2567758099 creator A5082220448 @default.
- W2567758099 creator A5085845903 @default.
- W2567758099 creator A5086530462 @default.
- W2567758099 date "2010-07-08" @default.
- W2567758099 modified "2023-10-05" @default.
- W2567758099 title "Important challenges for Double Patterning process" @default.
- W2567758099 hasPublicationYear "2010" @default.
- W2567758099 type Work @default.
- W2567758099 sameAs 2567758099 @default.
- W2567758099 citedByCount "0" @default.
- W2567758099 crossrefType "journal-article" @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5012398807 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5016997434 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5024423531 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5026204210 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5038924633 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5052986666 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5055871910 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5064576679 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5071034804 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5075010640 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5080043018 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5082220448 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5085845903 @default.
- W2567758099 hasAuthorship W2567758099A5086530462 @default.
- W2567758099 hasConcept C111919701 @default.
- W2567758099 hasConcept C41008148 @default.
- W2567758099 hasConcept C98045186 @default.
- W2567758099 hasConceptScore W2567758099C111919701 @default.
- W2567758099 hasConceptScore W2567758099C41008148 @default.
- W2567758099 hasConceptScore W2567758099C98045186 @default.
- W2567758099 hasLocation W25677580991 @default.
- W2567758099 hasOpenAccess W2567758099 @default.
- W2567758099 hasPrimaryLocation W25677580991 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W1990472026 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2017699466 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2082150061 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2091101652 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2133624714 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2196893446 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2260012531 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2948046660 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2949210737 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2965568885 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2983418599 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W3142820954 @default.
- W2567758099 hasRelatedWork W2931112918 @default.
- W2567758099 hasVolume "74" @default.
- W2567758099 isParatext "false" @default.
- W2567758099 isRetracted "false" @default.
- W2567758099 magId "2567758099" @default.
- W2567758099 workType "article" @default.