Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2586306218> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 92 of
92
with 100 items per page.
- W2586306218 endingPage "144" @default.
- W2586306218 startingPage "138" @default.
- W2586306218 created "2017-02-17" @default.
- W2586306218 creator A5010011388 @default.
- W2586306218 creator A5010658261 @default.
- W2586306218 creator A5024576483 @default.
- W2586306218 creator A5032531005 @default.
- W2586306218 creator A5032872115 @default.
- W2586306218 creator A5033279804 @default.
- W2586306218 creator A5035903772 @default.
- W2586306218 creator A5040553729 @default.
- W2586306218 creator A5051668075 @default.
- W2586306218 creator A5070406970 @default.
- W2586306218 creator A5079532924 @default.
- W2586306218 creator A5080942904 @default.
- W2586306218 creator A5084671974 @default.
- W2586306218 date "1997-03-01" @default.
- W2586306218 modified "2023-09-27" @default.
- W2586306218 title "Effects of rf Bias and Substrate Temperature on Si Substrate Cleaning Using Inductively Coupled Hydrogen Plasma" @default.
- W2586306218 hasPublicationYear "1997" @default.
- W2586306218 type Work @default.
- W2586306218 sameAs 2586306218 @default.
- W2586306218 citedByCount "0" @default.
- W2586306218 crossrefType "journal-article" @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5010011388 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5010658261 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5024576483 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5032531005 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5032872115 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5033279804 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5035903772 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5040553729 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5051668075 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5070406970 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5079532924 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5080942904 @default.
- W2586306218 hasAuthorship W2586306218A5084671974 @default.
- W2586306218 hasConcept C113196181 @default.
- W2586306218 hasConcept C121332964 @default.
- W2586306218 hasConcept C178790620 @default.
- W2586306218 hasConcept C185592680 @default.
- W2586306218 hasConcept C18903297 @default.
- W2586306218 hasConcept C192562407 @default.
- W2586306218 hasConcept C2777289219 @default.
- W2586306218 hasConcept C43617362 @default.
- W2586306218 hasConcept C49040817 @default.
- W2586306218 hasConcept C512968161 @default.
- W2586306218 hasConcept C62520636 @default.
- W2586306218 hasConcept C82706917 @default.
- W2586306218 hasConcept C86803240 @default.
- W2586306218 hasConcept C95974651 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C113196181 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C121332964 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C178790620 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C185592680 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C18903297 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C192562407 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C2777289219 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C43617362 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C49040817 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C512968161 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C62520636 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C82706917 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C86803240 @default.
- W2586306218 hasConceptScore W2586306218C95974651 @default.
- W2586306218 hasIssue "1" @default.
- W2586306218 hasOpenAccess W2586306218 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W1998692920 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2001626320 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2012543204 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2033526058 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2071417658 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2074181023 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2086945151 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2114348236 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2204302548 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2561236115 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2607279712 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2612869081 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W264977084 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2926891331 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W3015429065 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W3029387471 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W373343637 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W423600242 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W568938917 @default.
- W2586306218 hasRelatedWork W2862853140 @default.
- W2586306218 hasVolume "2" @default.
- W2586306218 isParatext "false" @default.
- W2586306218 isRetracted "false" @default.
- W2586306218 magId "2586306218" @default.
- W2586306218 workType "article" @default.