Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2589566577> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 68 of
68
with 100 items per page.
- W2589566577 startingPage "3" @default.
- W2589566577 created "2017-03-03" @default.
- W2589566577 creator A5018604634 @default.
- W2589566577 date "2000-01-01" @default.
- W2589566577 modified "2023-09-23" @default.
- W2589566577 title "Investigation of Tantalum Silicon Oxide as an Attenuated Phase Shift Masking Material for 157nm Lithography" @default.
- W2589566577 cites W2049185792 @default.
- W2589566577 hasPublicationYear "2000" @default.
- W2589566577 type Work @default.
- W2589566577 sameAs 2589566577 @default.
- W2589566577 citedByCount "0" @default.
- W2589566577 crossrefType "journal-article" @default.
- W2589566577 hasAuthorship W2589566577A5018604634 @default.
- W2589566577 hasConcept C142362112 @default.
- W2589566577 hasConcept C153349607 @default.
- W2589566577 hasConcept C171250308 @default.
- W2589566577 hasConcept C178790620 @default.
- W2589566577 hasConcept C185592680 @default.
- W2589566577 hasConcept C191897082 @default.
- W2589566577 hasConcept C192562407 @default.
- W2589566577 hasConcept C204223013 @default.
- W2589566577 hasConcept C2777402240 @default.
- W2589566577 hasConcept C44280652 @default.
- W2589566577 hasConcept C49040817 @default.
- W2589566577 hasConcept C514619126 @default.
- W2589566577 hasConcept C544956773 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C142362112 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C153349607 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C171250308 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C178790620 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C185592680 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C191897082 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C192562407 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C204223013 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C2777402240 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C44280652 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C49040817 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C514619126 @default.
- W2589566577 hasConceptScore W2589566577C544956773 @default.
- W2589566577 hasIssue "1" @default.
- W2589566577 hasLocation W25895665771 @default.
- W2589566577 hasOpenAccess W2589566577 @default.
- W2589566577 hasPrimaryLocation W25895665771 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W1966378338 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W1992493998 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W1999395000 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2002519277 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2003630641 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2030196896 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2042325914 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2046341172 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2048082315 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2048222609 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2049325008 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2061406396 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2083304160 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2097455123 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2133067467 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2171293114 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2562351986 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W3023988096 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2161981432 @default.
- W2589566577 hasRelatedWork W2407452089 @default.
- W2589566577 hasVolume "10" @default.
- W2589566577 isParatext "false" @default.
- W2589566577 isRetracted "false" @default.
- W2589566577 magId "2589566577" @default.
- W2589566577 workType "article" @default.