Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2777487268> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 46 of
46
with 100 items per page.
- W2777487268 created "2018-01-05" @default.
- W2777487268 date "2005-01-01" @default.
- W2777487268 modified "2023-09-26" @default.
- W2777487268 title "Dry Etching of Low-k Dielectrics" @default.
- W2777487268 doi "https://doi.org/10.1149/ma2005-01/15/695" @default.
- W2777487268 hasPublicationYear "2005" @default.
- W2777487268 type Work @default.
- W2777487268 sameAs 2777487268 @default.
- W2777487268 citedByCount "0" @default.
- W2777487268 crossrefType "journal-article" @default.
- W2777487268 hasBestOaLocation W27774872681 @default.
- W2777487268 hasConcept C100460472 @default.
- W2777487268 hasConcept C1291036 @default.
- W2777487268 hasConcept C133386390 @default.
- W2777487268 hasConcept C159985019 @default.
- W2777487268 hasConcept C192562407 @default.
- W2777487268 hasConcept C2779227376 @default.
- W2777487268 hasConcept C2779866884 @default.
- W2777487268 hasConcept C39432304 @default.
- W2777487268 hasConcept C49040817 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C100460472 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C1291036 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C133386390 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C159985019 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C192562407 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C2779227376 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C2779866884 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C39432304 @default.
- W2777487268 hasConceptScore W2777487268C49040817 @default.
- W2777487268 hasLocation W27774872681 @default.
- W2777487268 hasOpenAccess W2777487268 @default.
- W2777487268 hasPrimaryLocation W27774872681 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2007367613 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2015741103 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2029775988 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2083876741 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2100429459 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2899084033 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2922359637 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W2932188676 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W3081380996 @default.
- W2777487268 hasRelatedWork W67183178 @default.
- W2777487268 isParatext "false" @default.
- W2777487268 isRetracted "false" @default.
- W2777487268 magId "2777487268" @default.
- W2777487268 workType "article" @default.