Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2904546426> ?p ?o ?g. }
- W2904546426 endingPage "P3008" @default.
- W2904546426 startingPage "P3001" @default.
- W2904546426 created "2018-12-22" @default.
- W2904546426 creator A5000606978 @default.
- W2904546426 creator A5005554742 @default.
- W2904546426 creator A5013475838 @default.
- W2904546426 creator A5036824757 @default.
- W2904546426 creator A5073008541 @default.
- W2904546426 date "2018-12-11" @default.
- W2904546426 modified "2023-10-18" @default.
- W2904546426 title "Ammonium Persulfate and Potassium Oleate Containing Silica Dispersions for Chemical Mechanical Polishing for Cobalt Interconnect Applications" @default.
- W2904546426 cites W1926950498 @default.
- W2904546426 cites W1974040521 @default.
- W2904546426 cites W1981510839 @default.
- W2904546426 cites W1987577362 @default.
- W2904546426 cites W1988644997 @default.
- W2904546426 cites W1991821893 @default.
- W2904546426 cites W1992411968 @default.
- W2904546426 cites W1992636765 @default.
- W2904546426 cites W2000567517 @default.
- W2904546426 cites W2017393751 @default.
- W2904546426 cites W2030767290 @default.
- W2904546426 cites W2035952562 @default.
- W2904546426 cites W2037381983 @default.
- W2904546426 cites W2038165908 @default.
- W2904546426 cites W2048615411 @default.
- W2904546426 cites W2049109292 @default.
- W2904546426 cites W2053356542 @default.
- W2904546426 cites W2054996255 @default.
- W2904546426 cites W2056444436 @default.
- W2904546426 cites W2063571518 @default.
- W2904546426 cites W2067714612 @default.
- W2904546426 cites W2075699532 @default.
- W2904546426 cites W2076549860 @default.
- W2904546426 cites W2081709688 @default.
- W2904546426 cites W2094731216 @default.
- W2904546426 cites W2096570580 @default.
- W2904546426 cites W2103839066 @default.
- W2904546426 cites W2105871878 @default.
- W2904546426 cites W2130148791 @default.
- W2904546426 cites W2132378318 @default.
- W2904546426 cites W2142316765 @default.
- W2904546426 cites W2145840362 @default.
- W2904546426 cites W2156427942 @default.
- W2904546426 cites W2166951798 @default.
- W2904546426 cites W2211736630 @default.
- W2904546426 cites W2316730969 @default.
- W2904546426 cites W2465066880 @default.
- W2904546426 cites W2467151609 @default.
- W2904546426 cites W2474807532 @default.
- W2904546426 cites W2595423431 @default.
- W2904546426 cites W2601766912 @default.
- W2904546426 cites W2618549437 @default.
- W2904546426 cites W2620886405 @default.
- W2904546426 cites W2734345218 @default.
- W2904546426 cites W2744766191 @default.
- W2904546426 cites W2751761748 @default.
- W2904546426 cites W2755325176 @default.
- W2904546426 cites W2772841346 @default.
- W2904546426 cites W2794861999 @default.
- W2904546426 cites W60776968 @default.
- W2904546426 cites W649748417 @default.
- W2904546426 cites W780622624 @default.
- W2904546426 doi "https://doi.org/10.1149/2.0021905jss" @default.
- W2904546426 hasPublicationYear "2018" @default.
- W2904546426 type Work @default.
- W2904546426 sameAs 2904546426 @default.
- W2904546426 citedByCount "40" @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262018 @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262019 @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262020 @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262021 @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262022 @default.
- W2904546426 countsByYear W29045464262023 @default.
- W2904546426 crossrefType "journal-article" @default.
- W2904546426 hasAuthorship W2904546426A5000606978 @default.
- W2904546426 hasAuthorship W2904546426A5005554742 @default.
- W2904546426 hasAuthorship W2904546426A5013475838 @default.
- W2904546426 hasAuthorship W2904546426A5036824757 @default.
- W2904546426 hasAuthorship W2904546426A5073008541 @default.
- W2904546426 hasBestOaLocation W29045464261 @default.
- W2904546426 hasConcept C123745756 @default.
- W2904546426 hasConcept C127413603 @default.
- W2904546426 hasConcept C138113353 @default.
- W2904546426 hasConcept C159985019 @default.
- W2904546426 hasConcept C171250308 @default.
- W2904546426 hasConcept C180088628 @default.
- W2904546426 hasConcept C191897082 @default.
- W2904546426 hasConcept C192562407 @default.
- W2904546426 hasConcept C2780023803 @default.
- W2904546426 hasConcept C2781127917 @default.
- W2904546426 hasConcept C41008148 @default.
- W2904546426 hasConcept C42360764 @default.
- W2904546426 hasConcept C44228677 @default.
- W2904546426 hasConcept C515602321 @default.
- W2904546426 hasConcept C517785266 @default.
- W2904546426 hasConcept C521977710 @default.
- W2904546426 hasConcept C76155785 @default.
- W2904546426 hasConceptScore W2904546426C123745756 @default.
- W2904546426 hasConceptScore W2904546426C127413603 @default.