Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2912094640> ?p ?o ?g. }
- W2912094640 endingPage "3967" @default.
- W2912094640 startingPage "3959" @default.
- W2912094640 created "2019-02-21" @default.
- W2912094640 creator A5015269967 @default.
- W2912094640 creator A5016015126 @default.
- W2912094640 creator A5037818922 @default.
- W2912094640 creator A5084508997 @default.
- W2912094640 date "2019-02-09" @default.
- W2912094640 modified "2023-10-18" @default.
- W2912094640 title "Influence of residual stress on performance of AlN thin film based piezoelectric MEMS accelerometer structure" @default.
- W2912094640 cites W1483871418 @default.
- W2912094640 cites W1873158389 @default.
- W2912094640 cites W1986284610 @default.
- W2912094640 cites W1987581960 @default.
- W2912094640 cites W2004135485 @default.
- W2912094640 cites W2009075178 @default.
- W2912094640 cites W2015593613 @default.
- W2912094640 cites W2024697034 @default.
- W2912094640 cites W2061573776 @default.
- W2912094640 cites W2066129911 @default.
- W2912094640 cites W2096109888 @default.
- W2912094640 cites W2107975631 @default.
- W2912094640 cites W2115380597 @default.
- W2912094640 cites W2118192020 @default.
- W2912094640 cites W2145891305 @default.
- W2912094640 cites W2149128480 @default.
- W2912094640 cites W2153057305 @default.
- W2912094640 cites W2171773216 @default.
- W2912094640 cites W2340433383 @default.
- W2912094640 cites W2404717088 @default.
- W2912094640 cites W2464290674 @default.
- W2912094640 cites W2533152244 @default.
- W2912094640 cites W2744400007 @default.
- W2912094640 cites W2770021302 @default.
- W2912094640 cites W2792781026 @default.
- W2912094640 cites W2887979697 @default.
- W2912094640 doi "https://doi.org/10.1007/s00542-019-04334-1" @default.
- W2912094640 hasPublicationYear "2019" @default.
- W2912094640 type Work @default.
- W2912094640 sameAs 2912094640 @default.
- W2912094640 citedByCount "13" @default.
- W2912094640 countsByYear W29120946402019 @default.
- W2912094640 countsByYear W29120946402020 @default.
- W2912094640 countsByYear W29120946402021 @default.
- W2912094640 countsByYear W29120946402022 @default.
- W2912094640 crossrefType "journal-article" @default.
- W2912094640 hasAuthorship W2912094640A5015269967 @default.
- W2912094640 hasAuthorship W2912094640A5016015126 @default.
- W2912094640 hasAuthorship W2912094640A5037818922 @default.
- W2912094640 hasAuthorship W2912094640A5084508997 @default.
- W2912094640 hasConcept C100082104 @default.
- W2912094640 hasConcept C108185170 @default.
- W2912094640 hasConcept C111919701 @default.
- W2912094640 hasConcept C135405054 @default.
- W2912094640 hasConcept C138885662 @default.
- W2912094640 hasConcept C159985019 @default.
- W2912094640 hasConcept C171250308 @default.
- W2912094640 hasConcept C19067145 @default.
- W2912094640 hasConcept C192562407 @default.
- W2912094640 hasConcept C21036866 @default.
- W2912094640 hasConcept C37292000 @default.
- W2912094640 hasConcept C37977207 @default.
- W2912094640 hasConcept C41008148 @default.
- W2912094640 hasConcept C41895202 @default.
- W2912094640 hasConcept C49040817 @default.
- W2912094640 hasConcept C89805583 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C100082104 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C108185170 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C111919701 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C135405054 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C138885662 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C159985019 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C171250308 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C19067145 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C192562407 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C21036866 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C37292000 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C37977207 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C41008148 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C41895202 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C49040817 @default.
- W2912094640 hasConceptScore W2912094640C89805583 @default.
- W2912094640 hasIssue "10" @default.
- W2912094640 hasLocation W29120946401 @default.
- W2912094640 hasOpenAccess W2912094640 @default.
- W2912094640 hasPrimaryLocation W29120946401 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2021714583 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2038654642 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2048744019 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2059969386 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2066382428 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2355904937 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2394471503 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2557706714 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W2912094640 @default.
- W2912094640 hasRelatedWork W3118684050 @default.
- W2912094640 hasVolume "25" @default.
- W2912094640 isParatext "false" @default.
- W2912094640 isRetracted "false" @default.
- W2912094640 magId "2912094640" @default.