Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2916665616> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 95 of
95
with 100 items per page.
- W2916665616 endingPage "751" @default.
- W2916665616 startingPage "747" @default.
- W2916665616 created "2019-03-02" @default.
- W2916665616 creator A5018621003 @default.
- W2916665616 creator A5037346718 @default.
- W2916665616 creator A5042828154 @default.
- W2916665616 creator A5058668110 @default.
- W2916665616 creator A5070416653 @default.
- W2916665616 creator A5089058595 @default.
- W2916665616 date "2018-12-15" @default.
- W2916665616 modified "2023-10-12" @default.
- W2916665616 title "Role of Metal Sensitizers for Sensitivity Improvement in EUV Chemically Amplified Resist" @default.
- W2916665616 cites W1997014349 @default.
- W2916665616 cites W1998510743 @default.
- W2916665616 cites W2006900277 @default.
- W2916665616 cites W2007980058 @default.
- W2916665616 cites W2011963980 @default.
- W2916665616 cites W2020276143 @default.
- W2916665616 cites W2032249155 @default.
- W2916665616 cites W2038377398 @default.
- W2916665616 cites W2049998961 @default.
- W2916665616 cites W2070776352 @default.
- W2916665616 cites W2089264609 @default.
- W2916665616 cites W2092400991 @default.
- W2916665616 cites W2094043503 @default.
- W2916665616 cites W2094249583 @default.
- W2916665616 cites W2742223122 @default.
- W2916665616 doi "https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.747" @default.
- W2916665616 hasPublicationYear "2018" @default.
- W2916665616 type Work @default.
- W2916665616 sameAs 2916665616 @default.
- W2916665616 citedByCount "2" @default.
- W2916665616 countsByYear W29166656162020 @default.
- W2916665616 countsByYear W29166656162022 @default.
- W2916665616 crossrefType "journal-article" @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5018621003 @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5037346718 @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5042828154 @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5058668110 @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5070416653 @default.
- W2916665616 hasAuthorship W2916665616A5089058595 @default.
- W2916665616 hasBestOaLocation W29166656161 @default.
- W2916665616 hasConcept C127413603 @default.
- W2916665616 hasConcept C162996421 @default.
- W2916665616 hasConcept C171250308 @default.
- W2916665616 hasConcept C185592680 @default.
- W2916665616 hasConcept C191897082 @default.
- W2916665616 hasConcept C192562407 @default.
- W2916665616 hasConcept C21200559 @default.
- W2916665616 hasConcept C24326235 @default.
- W2916665616 hasConcept C2779227376 @default.
- W2916665616 hasConcept C53524968 @default.
- W2916665616 hasConcept C544153396 @default.
- W2916665616 hasConcept C75473681 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C127413603 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C162996421 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C171250308 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C185592680 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C191897082 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C192562407 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C21200559 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C24326235 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C2779227376 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C53524968 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C544153396 @default.
- W2916665616 hasConceptScore W2916665616C75473681 @default.
- W2916665616 hasIssue "6" @default.
- W2916665616 hasLocation W29166656161 @default.
- W2916665616 hasOpenAccess W2916665616 @default.
- W2916665616 hasPrimaryLocation W29166656161 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1966179342 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1975338285 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1988465690 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1996889626 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1997577218 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W1998226242 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2028678732 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2049214070 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2082632927 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2123525788 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2230465341 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2238609637 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2531533210 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2792715908 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2896223093 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2899487470 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W3120086205 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W860637163 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2400115592 @default.
- W2916665616 hasRelatedWork W2870473701 @default.
- W2916665616 hasVolume "31" @default.
- W2916665616 isParatext "false" @default.
- W2916665616 isRetracted "false" @default.
- W2916665616 magId "2916665616" @default.
- W2916665616 workType "article" @default.