Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2917262014> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 98 of
98
with 100 items per page.
- W2917262014 endingPage "70" @default.
- W2917262014 startingPage "67" @default.
- W2917262014 created "2019-03-02" @default.
- W2917262014 creator A5009537063 @default.
- W2917262014 creator A5019068702 @default.
- W2917262014 creator A5031953962 @default.
- W2917262014 creator A5033102904 @default.
- W2917262014 creator A5042472106 @default.
- W2917262014 creator A5051780556 @default.
- W2917262014 creator A5052921134 @default.
- W2917262014 creator A5055321454 @default.
- W2917262014 creator A5062474634 @default.
- W2917262014 creator A5063009395 @default.
- W2917262014 creator A5064214123 @default.
- W2917262014 creator A5082356852 @default.
- W2917262014 date "2006-09-28" @default.
- W2917262014 modified "2023-09-27" @default.
- W2917262014 title "New Elevated Source/Drain for NMOS Process Using Chlorine Gas Etching : Batch Type Si Etching with Damage Free and Very High Selectivity" @default.
- W2917262014 hasPublicationYear "2006" @default.
- W2917262014 type Work @default.
- W2917262014 sameAs 2917262014 @default.
- W2917262014 citedByCount "0" @default.
- W2917262014 crossrefType "journal-article" @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5009537063 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5019068702 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5031953962 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5033102904 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5042472106 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5051780556 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5052921134 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5055321454 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5062474634 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5063009395 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5064214123 @default.
- W2917262014 hasAuthorship W2917262014A5082356852 @default.
- W2917262014 hasConcept C100460472 @default.
- W2917262014 hasConcept C118792377 @default.
- W2917262014 hasConcept C119599485 @default.
- W2917262014 hasConcept C127413603 @default.
- W2917262014 hasConcept C1291036 @default.
- W2917262014 hasConcept C161790260 @default.
- W2917262014 hasConcept C165801399 @default.
- W2917262014 hasConcept C171250308 @default.
- W2917262014 hasConcept C172385210 @default.
- W2917262014 hasConcept C178790620 @default.
- W2917262014 hasConcept C185592680 @default.
- W2917262014 hasConcept C191897082 @default.
- W2917262014 hasConcept C192562407 @default.
- W2917262014 hasConcept C197162436 @default.
- W2917262014 hasConcept C2779227376 @default.
- W2917262014 hasConcept C49040817 @default.
- W2917262014 hasConcept C505241676 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C100460472 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C118792377 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C119599485 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C127413603 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C1291036 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C161790260 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C165801399 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C171250308 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C172385210 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C178790620 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C185592680 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C191897082 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C192562407 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C197162436 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C2779227376 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C49040817 @default.
- W2917262014 hasConceptScore W2917262014C505241676 @default.
- W2917262014 hasIssue "277" @default.
- W2917262014 hasLocation W29172620141 @default.
- W2917262014 hasOpenAccess W2917262014 @default.
- W2917262014 hasPrimaryLocation W29172620141 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W1639057147 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2062859037 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2116729965 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2129363264 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2168922047 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2325923524 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2950541695 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2257997034 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2285154926 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2407591359 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2814618420 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2818879532 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2857196114 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2857810287 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2866345600 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2868086752 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W2868457635 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W3106096129 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W85156549 @default.
- W2917262014 hasRelatedWork W945676378 @default.
- W2917262014 hasVolume "106" @default.
- W2917262014 isParatext "false" @default.
- W2917262014 isRetracted "false" @default.
- W2917262014 magId "2917262014" @default.
- W2917262014 workType "article" @default.