Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2964795843> ?p ?o ?g. }
- W2964795843 endingPage "15714" @default.
- W2964795843 startingPage "15705" @default.
- W2964795843 created "2019-08-13" @default.
- W2964795843 creator A5008356826 @default.
- W2964795843 creator A5015269967 @default.
- W2964795843 creator A5016126934 @default.
- W2964795843 creator A5027341683 @default.
- W2964795843 creator A5033285541 @default.
- W2964795843 creator A5037818922 @default.
- W2964795843 creator A5044807789 @default.
- W2964795843 creator A5053878164 @default.
- W2964795843 creator A5084508997 @default.
- W2964795843 date "2019-08-01" @default.
- W2964795843 modified "2023-10-14" @default.
- W2964795843 title "Design and fabrication of SOI technology based MEMS differential capacitive accelerometer structure" @default.
- W2964795843 cites W1630602315 @default.
- W2964795843 cites W1789412032 @default.
- W2964795843 cites W2010684297 @default.
- W2964795843 cites W2022141669 @default.
- W2964795843 cites W2023342020 @default.
- W2964795843 cites W2024052693 @default.
- W2964795843 cites W2055129172 @default.
- W2964795843 cites W2078041188 @default.
- W2964795843 cites W2080679985 @default.
- W2964795843 cites W2084389613 @default.
- W2964795843 cites W2148850074 @default.
- W2964795843 cites W2149128480 @default.
- W2964795843 cites W2150897308 @default.
- W2964795843 cites W2160325238 @default.
- W2964795843 cites W2203168896 @default.
- W2964795843 cites W2211487670 @default.
- W2964795843 cites W2263375051 @default.
- W2964795843 cites W2323516091 @default.
- W2964795843 cites W2487708677 @default.
- W2964795843 cites W2593318507 @default.
- W2964795843 cites W2734984622 @default.
- W2964795843 cites W2787769889 @default.
- W2964795843 cites W2797804487 @default.
- W2964795843 cites W2807002969 @default.
- W2964795843 cites W2809328549 @default.
- W2964795843 cites W2893121963 @default.
- W2964795843 cites W2896788959 @default.
- W2964795843 cites W2897967892 @default.
- W2964795843 cites W2912094640 @default.
- W2964795843 cites W2965063053 @default.
- W2964795843 cites W4230282064 @default.
- W2964795843 doi "https://doi.org/10.1007/s10854-019-01955-0" @default.
- W2964795843 hasPublicationYear "2019" @default.
- W2964795843 type Work @default.
- W2964795843 sameAs 2964795843 @default.
- W2964795843 citedByCount "11" @default.
- W2964795843 countsByYear W29647958432020 @default.
- W2964795843 countsByYear W29647958432021 @default.
- W2964795843 countsByYear W29647958432022 @default.
- W2964795843 countsByYear W29647958432023 @default.
- W2964795843 crossrefType "journal-article" @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5008356826 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5015269967 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5016126934 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5027341683 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5033285541 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5037818922 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5044807789 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5053878164 @default.
- W2964795843 hasAuthorship W2964795843A5084508997 @default.
- W2964795843 hasConcept C117896860 @default.
- W2964795843 hasConcept C119599485 @default.
- W2964795843 hasConcept C120665830 @default.
- W2964795843 hasConcept C121332964 @default.
- W2964795843 hasConcept C127413603 @default.
- W2964795843 hasConcept C136525101 @default.
- W2964795843 hasConcept C142724271 @default.
- W2964795843 hasConcept C165801399 @default.
- W2964795843 hasConcept C17525397 @default.
- W2964795843 hasConcept C192562407 @default.
- W2964795843 hasConcept C204787440 @default.
- W2964795843 hasConcept C206755178 @default.
- W2964795843 hasConcept C21200559 @default.
- W2964795843 hasConcept C24326235 @default.
- W2964795843 hasConcept C2781355719 @default.
- W2964795843 hasConcept C30066665 @default.
- W2964795843 hasConcept C37977207 @default.
- W2964795843 hasConcept C49040817 @default.
- W2964795843 hasConcept C52192207 @default.
- W2964795843 hasConcept C53143962 @default.
- W2964795843 hasConcept C544956773 @default.
- W2964795843 hasConcept C62520636 @default.
- W2964795843 hasConcept C71924100 @default.
- W2964795843 hasConcept C74650414 @default.
- W2964795843 hasConcept C77170095 @default.
- W2964795843 hasConcept C89805583 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C117896860 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C119599485 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C120665830 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C121332964 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C127413603 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C136525101 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C142724271 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C165801399 @default.
- W2964795843 hasConceptScore W2964795843C17525397 @default.