Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2967396727> ?p ?o ?g. }
- W2967396727 endingPage "085002" @default.
- W2967396727 startingPage "085002" @default.
- W2967396727 created "2019-08-22" @default.
- W2967396727 creator A5036025552 @default.
- W2967396727 creator A5042609189 @default.
- W2967396727 creator A5045089827 @default.
- W2967396727 creator A5052397502 @default.
- W2967396727 creator A5053679599 @default.
- W2967396727 creator A5061705395 @default.
- W2967396727 date "2019-08-08" @default.
- W2967396727 modified "2023-10-15" @default.
- W2967396727 title "Modeling of C<sub>4</sub>F<sub>8</sub> inductively coupled plasmas: effects of high RF power on the plasma electrical properties" @default.
- W2967396727 cites W1482823861 @default.
- W2967396727 cites W1490338220 @default.
- W2967396727 cites W1505469421 @default.
- W2967396727 cites W1509917530 @default.
- W2967396727 cites W1512072162 @default.
- W2967396727 cites W1518204862 @default.
- W2967396727 cites W1536652860 @default.
- W2967396727 cites W1547250149 @default.
- W2967396727 cites W1570449192 @default.
- W2967396727 cites W1588673368 @default.
- W2967396727 cites W1610753954 @default.
- W2967396727 cites W1651944223 @default.
- W2967396727 cites W1661036075 @default.
- W2967396727 cites W1662428887 @default.
- W2967396727 cites W1675695310 @default.
- W2967396727 cites W1680662765 @default.
- W2967396727 cites W1894003725 @default.
- W2967396727 cites W1922300305 @default.
- W2967396727 cites W1964205974 @default.
- W2967396727 cites W1966720068 @default.
- W2967396727 cites W1967791159 @default.
- W2967396727 cites W1969256561 @default.
- W2967396727 cites W1969608150 @default.
- W2967396727 cites W1977310688 @default.
- W2967396727 cites W1977615293 @default.
- W2967396727 cites W1978999219 @default.
- W2967396727 cites W1984719433 @default.
- W2967396727 cites W1985664421 @default.
- W2967396727 cites W1986319564 @default.
- W2967396727 cites W1987621465 @default.
- W2967396727 cites W1994444042 @default.
- W2967396727 cites W2001139611 @default.
- W2967396727 cites W2007268737 @default.
- W2967396727 cites W2007889298 @default.
- W2967396727 cites W2009885298 @default.
- W2967396727 cites W2010054899 @default.
- W2967396727 cites W2010176724 @default.
- W2967396727 cites W2010706709 @default.
- W2967396727 cites W2019742118 @default.
- W2967396727 cites W2020015144 @default.
- W2967396727 cites W2021945033 @default.
- W2967396727 cites W2025237377 @default.
- W2967396727 cites W2026294671 @default.
- W2967396727 cites W2027151666 @default.
- W2967396727 cites W2027508107 @default.
- W2967396727 cites W2028679502 @default.
- W2967396727 cites W2036937934 @default.
- W2967396727 cites W2042171461 @default.
- W2967396727 cites W2046852642 @default.
- W2967396727 cites W2047183681 @default.
- W2967396727 cites W2048007576 @default.
- W2967396727 cites W2049887443 @default.
- W2967396727 cites W2056402403 @default.
- W2967396727 cites W2062526717 @default.
- W2967396727 cites W2064165231 @default.
- W2967396727 cites W2077617665 @default.
- W2967396727 cites W2078612064 @default.
- W2967396727 cites W2083646779 @default.
- W2967396727 cites W2090985691 @default.
- W2967396727 cites W2091569782 @default.
- W2967396727 cites W2093814323 @default.
- W2967396727 cites W210321466 @default.
- W2967396727 cites W2114768981 @default.
- W2967396727 cites W2116808038 @default.
- W2967396727 cites W2117463812 @default.
- W2967396727 cites W2123235116 @default.
- W2967396727 cites W2251609402 @default.
- W2967396727 cites W2315445095 @default.
- W2967396727 cites W2335326221 @default.
- W2967396727 cites W2398772728 @default.
- W2967396727 cites W2729496877 @default.
- W2967396727 cites W2800205943 @default.
- W2967396727 doi "https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab27d0" @default.
- W2967396727 hasPublicationYear "2019" @default.
- W2967396727 type Work @default.
- W2967396727 sameAs 2967396727 @default.
- W2967396727 citedByCount "4" @default.
- W2967396727 countsByYear W29673967272021 @default.
- W2967396727 countsByYear W29673967272022 @default.
- W2967396727 countsByYear W29673967272023 @default.
- W2967396727 crossrefType "journal-article" @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5036025552 @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5042609189 @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5045089827 @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5052397502 @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5053679599 @default.
- W2967396727 hasAuthorship W2967396727A5061705395 @default.
- W2967396727 hasConcept C107872376 @default.