Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2981487906> ?p ?o ?g. }
- W2981487906 endingPage "577" @default.
- W2981487906 startingPage "567" @default.
- W2981487906 created "2019-11-01" @default.
- W2981487906 creator A5014532228 @default.
- W2981487906 creator A5052310843 @default.
- W2981487906 creator A5091510144 @default.
- W2981487906 date "2019-09-01" @default.
- W2981487906 modified "2023-10-14" @default.
- W2981487906 title "Growth of Aluminum Nitride Thin Films by Atomic Layer Deposition and Their Applications: A Review" @default.
- W2981487906 cites W1824311929 @default.
- W2981487906 cites W1829312701 @default.
- W2981487906 cites W1975343634 @default.
- W2981487906 cites W1976758220 @default.
- W2981487906 cites W1981548523 @default.
- W2981487906 cites W1991634094 @default.
- W2981487906 cites W2006266042 @default.
- W2981487906 cites W2011159691 @default.
- W2981487906 cites W2023603575 @default.
- W2981487906 cites W2030089482 @default.
- W2981487906 cites W2035931858 @default.
- W2981487906 cites W2042993801 @default.
- W2981487906 cites W2043289735 @default.
- W2981487906 cites W2044160433 @default.
- W2981487906 cites W2049021971 @default.
- W2981487906 cites W2060287883 @default.
- W2981487906 cites W2063799061 @default.
- W2981487906 cites W2063980717 @default.
- W2981487906 cites W2070858123 @default.
- W2981487906 cites W2073009716 @default.
- W2981487906 cites W2073099514 @default.
- W2981487906 cites W2097758255 @default.
- W2981487906 cites W2100994870 @default.
- W2981487906 cites W2111179637 @default.
- W2981487906 cites W2113935288 @default.
- W2981487906 cites W2128460311 @default.
- W2981487906 cites W2142248815 @default.
- W2981487906 cites W2151006446 @default.
- W2981487906 cites W2154549281 @default.
- W2981487906 cites W2162871852 @default.
- W2981487906 cites W2397312330 @default.
- W2981487906 cites W2557060911 @default.
- W2981487906 cites W2560308486 @default.
- W2981487906 cites W2611357299 @default.
- W2981487906 cites W2783413511 @default.
- W2981487906 cites W2801830602 @default.
- W2981487906 cites W2810923531 @default.
- W2981487906 cites W2870776993 @default.
- W2981487906 cites W2885418517 @default.
- W2981487906 cites W2885804375 @default.
- W2981487906 cites W2898581742 @default.
- W2981487906 cites W2899293507 @default.
- W2981487906 cites W2912667517 @default.
- W2981487906 cites W2921731928 @default.
- W2981487906 cites W2935176158 @default.
- W2981487906 cites W2944141131 @default.
- W2981487906 cites W2946668598 @default.
- W2981487906 cites W3192731576 @default.
- W2981487906 cites W2905123433 @default.
- W2981487906 doi "https://doi.org/10.3740/mrsk.2019.29.9.567" @default.
- W2981487906 hasPublicationYear "2019" @default.
- W2981487906 type Work @default.
- W2981487906 sameAs 2981487906 @default.
- W2981487906 citedByCount "3" @default.
- W2981487906 countsByYear W29814879062021 @default.
- W2981487906 crossrefType "journal-article" @default.
- W2981487906 hasAuthorship W2981487906A5014532228 @default.
- W2981487906 hasAuthorship W2981487906A5052310843 @default.
- W2981487906 hasAuthorship W2981487906A5091510144 @default.
- W2981487906 hasConcept C127413603 @default.
- W2981487906 hasConcept C151730666 @default.
- W2981487906 hasConcept C171250308 @default.
- W2981487906 hasConcept C19067145 @default.
- W2981487906 hasConcept C191897082 @default.
- W2981487906 hasConcept C192562407 @default.
- W2981487906 hasConcept C194760766 @default.
- W2981487906 hasConcept C2779227376 @default.
- W2981487906 hasConcept C2816523 @default.
- W2981487906 hasConcept C513153333 @default.
- W2981487906 hasConcept C61696701 @default.
- W2981487906 hasConcept C64297162 @default.
- W2981487906 hasConcept C69544855 @default.
- W2981487906 hasConcept C86803240 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C127413603 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C151730666 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C171250308 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C19067145 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C191897082 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C192562407 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C194760766 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C2779227376 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C2816523 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C513153333 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C61696701 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C64297162 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C69544855 @default.
- W2981487906 hasConceptScore W2981487906C86803240 @default.
- W2981487906 hasFunder F4320321408 @default.
- W2981487906 hasIssue "9" @default.
- W2981487906 hasLocation W29814879061 @default.
- W2981487906 hasOpenAccess W2981487906 @default.