Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2986420890> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 63 of
63
with 100 items per page.
- W2986420890 created "2019-11-22" @default.
- W2986420890 creator A5043622615 @default.
- W2986420890 date "2004-01-01" @default.
- W2986420890 modified "2023-09-27" @default.
- W2986420890 title "Atomic Layer Deposition A Film Technology for the Nano Device Era" @default.
- W2986420890 cites W2061401558 @default.
- W2986420890 hasPublicationYear "2004" @default.
- W2986420890 type Work @default.
- W2986420890 sameAs 2986420890 @default.
- W2986420890 citedByCount "0" @default.
- W2986420890 crossrefType "journal-article" @default.
- W2986420890 hasAuthorship W2986420890A5043622615 @default.
- W2986420890 hasConcept C127313418 @default.
- W2986420890 hasConcept C127413603 @default.
- W2986420890 hasConcept C151730666 @default.
- W2986420890 hasConcept C159985019 @default.
- W2986420890 hasConcept C171250308 @default.
- W2986420890 hasConcept C192562407 @default.
- W2986420890 hasConcept C2779227376 @default.
- W2986420890 hasConcept C2780357685 @default.
- W2986420890 hasConcept C2816523 @default.
- W2986420890 hasConcept C61696701 @default.
- W2986420890 hasConcept C64297162 @default.
- W2986420890 hasConcept C69544855 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C127313418 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C127413603 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C151730666 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C159985019 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C171250308 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C192562407 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C2779227376 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C2780357685 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C2816523 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C61696701 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C64297162 @default.
- W2986420890 hasConceptScore W2986420890C69544855 @default.
- W2986420890 hasLocation W29864208901 @default.
- W2986420890 hasOpenAccess W2986420890 @default.
- W2986420890 hasPrimaryLocation W29864208901 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W1602050200 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2062016180 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2252881456 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2346466884 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2507356755 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2570707402 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2574670370 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2575899833 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2584574075 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2810439547 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2900194722 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2953419883 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W3203297381 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W3207608989 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2755405370 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2818635722 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2848484677 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2851856247 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W2857798490 @default.
- W2986420890 hasRelatedWork W3178069490 @default.
- W2986420890 isParatext "false" @default.
- W2986420890 isRetracted "false" @default.
- W2986420890 magId "2986420890" @default.
- W2986420890 workType "article" @default.