Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W2998870966> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 94 of
94
with 100 items per page.
- W2998870966 endingPage "372" @default.
- W2998870966 startingPage "364" @default.
- W2998870966 created "2020-01-23" @default.
- W2998870966 creator A5004435463 @default.
- W2998870966 creator A5021966729 @default.
- W2998870966 creator A5046574035 @default.
- W2998870966 date "2019-11-01" @default.
- W2998870966 modified "2023-10-17" @default.
- W2998870966 title "Parameters of Plasma and Way of Etching Silicon in a CF4 + CHF3 + O2 Mixture" @default.
- W2998870966 cites W1194555893 @default.
- W2998870966 cites W1509917530 @default.
- W2998870966 cites W1562617726 @default.
- W2998870966 cites W1623033630 @default.
- W2998870966 cites W1982794934 @default.
- W2998870966 cites W1984598363 @default.
- W2998870966 cites W1996303146 @default.
- W2998870966 cites W1997256396 @default.
- W2998870966 cites W2007889298 @default.
- W2998870966 cites W2042936325 @default.
- W2998870966 cites W2046836154 @default.
- W2998870966 cites W2062526717 @default.
- W2998870966 cites W2062824111 @default.
- W2998870966 cites W2070020495 @default.
- W2998870966 cites W2081963956 @default.
- W2998870966 cites W2088710695 @default.
- W2998870966 cites W2094237060 @default.
- W2998870966 cites W2110200822 @default.
- W2998870966 cites W2157321441 @default.
- W2998870966 cites W2172065341 @default.
- W2998870966 cites W2314333183 @default.
- W2998870966 cites W2332225081 @default.
- W2998870966 cites W2499874350 @default.
- W2998870966 cites W2562395217 @default.
- W2998870966 cites W2600106934 @default.
- W2998870966 cites W2612466803 @default.
- W2998870966 cites W2811070559 @default.
- W2998870966 cites W2921745741 @default.
- W2998870966 cites W575334471 @default.
- W2998870966 cites W597809786 @default.
- W2998870966 doi "https://doi.org/10.1134/s1063739719060040" @default.
- W2998870966 hasPublicationYear "2019" @default.
- W2998870966 type Work @default.
- W2998870966 sameAs 2998870966 @default.
- W2998870966 citedByCount "4" @default.
- W2998870966 countsByYear W29988709662020 @default.
- W2998870966 countsByYear W29988709662021 @default.
- W2998870966 countsByYear W29988709662022 @default.
- W2998870966 crossrefType "journal-article" @default.
- W2998870966 hasAuthorship W2998870966A5004435463 @default.
- W2998870966 hasAuthorship W2998870966A5021966729 @default.
- W2998870966 hasAuthorship W2998870966A5046574035 @default.
- W2998870966 hasConcept C100460472 @default.
- W2998870966 hasConcept C107187091 @default.
- W2998870966 hasConcept C116915560 @default.
- W2998870966 hasConcept C121332964 @default.
- W2998870966 hasConcept C127413603 @default.
- W2998870966 hasConcept C171250308 @default.
- W2998870966 hasConcept C185544564 @default.
- W2998870966 hasConcept C192562407 @default.
- W2998870966 hasConcept C2779227376 @default.
- W2998870966 hasConcept C49040817 @default.
- W2998870966 hasConcept C544956773 @default.
- W2998870966 hasConcept C82706917 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C100460472 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C107187091 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C116915560 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C121332964 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C127413603 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C171250308 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C185544564 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C192562407 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C2779227376 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C49040817 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C544956773 @default.
- W2998870966 hasConceptScore W2998870966C82706917 @default.
- W2998870966 hasIssue "6" @default.
- W2998870966 hasLocation W29988709661 @default.
- W2998870966 hasOpenAccess W2998870966 @default.
- W2998870966 hasPrimaryLocation W29988709661 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W1994603784 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2059112004 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2078001012 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2139606557 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2155099757 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2366161362 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2385387985 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2536958814 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W2546297835 @default.
- W2998870966 hasRelatedWork W3197419717 @default.
- W2998870966 hasVolume "48" @default.
- W2998870966 isParatext "false" @default.
- W2998870966 isRetracted "false" @default.
- W2998870966 magId "2998870966" @default.
- W2998870966 workType "article" @default.