Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3023496997> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 56 of
56
with 100 items per page.
- W3023496997 created "2020-05-13" @default.
- W3023496997 creator A5029637357 @default.
- W3023496997 date "1994-01-01" @default.
- W3023496997 modified "2023-09-28" @default.
- W3023496997 title "Gas-Phase Chemical Cleaning of Silicon Surfaces." @default.
- W3023496997 hasPublicationYear "1994" @default.
- W3023496997 type Work @default.
- W3023496997 sameAs 3023496997 @default.
- W3023496997 citedByCount "0" @default.
- W3023496997 crossrefType "journal-article" @default.
- W3023496997 hasAuthorship W3023496997A5029637357 @default.
- W3023496997 hasConcept C127413603 @default.
- W3023496997 hasConcept C178790620 @default.
- W3023496997 hasConcept C185592680 @default.
- W3023496997 hasConcept C191897082 @default.
- W3023496997 hasConcept C192562407 @default.
- W3023496997 hasConcept C21880701 @default.
- W3023496997 hasConcept C39432304 @default.
- W3023496997 hasConcept C44280652 @default.
- W3023496997 hasConcept C544956773 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C127413603 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C178790620 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C185592680 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C191897082 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C192562407 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C21880701 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C39432304 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C44280652 @default.
- W3023496997 hasConceptScore W3023496997C544956773 @default.
- W3023496997 hasLocation W30234969971 @default.
- W3023496997 hasOpenAccess W3023496997 @default.
- W3023496997 hasPrimaryLocation W30234969971 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W1507316957 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W1564679333 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W1680695506 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W1982392995 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W1991875578 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2222962908 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2340976283 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2553716070 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2767143859 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2994762454 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W2995182621 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W3001356704 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W3036869300 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W3043776650 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W3045767507 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W3088117535 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W588080260 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W60095367 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W72606261 @default.
- W3023496997 hasRelatedWork W96072940 @default.
- W3023496997 isParatext "false" @default.
- W3023496997 isRetracted "false" @default.
- W3023496997 magId "3023496997" @default.
- W3023496997 workType "article" @default.