Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3027677579> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 62 of
62
with 100 items per page.
- W3027677579 created "2020-05-29" @default.
- W3027677579 creator A5015509439 @default.
- W3027677579 date "2015-01-01" @default.
- W3027677579 modified "2023-09-27" @default.
- W3027677579 title "Surface chemistry of atomic layer deposition: Mechanisms and conformality" @default.
- W3027677579 hasPublicationYear "2015" @default.
- W3027677579 type Work @default.
- W3027677579 sameAs 3027677579 @default.
- W3027677579 citedByCount "0" @default.
- W3027677579 crossrefType "journal-article" @default.
- W3027677579 hasAuthorship W3027677579A5015509439 @default.
- W3027677579 hasConcept C127313418 @default.
- W3027677579 hasConcept C151730666 @default.
- W3027677579 hasConcept C171250308 @default.
- W3027677579 hasConcept C185592680 @default.
- W3027677579 hasConcept C192562407 @default.
- W3027677579 hasConcept C2524010 @default.
- W3027677579 hasConcept C2776799497 @default.
- W3027677579 hasConcept C2779227376 @default.
- W3027677579 hasConcept C2816523 @default.
- W3027677579 hasConcept C33923547 @default.
- W3027677579 hasConcept C64297162 @default.
- W3027677579 hasConcept C69544855 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C127313418 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C151730666 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C171250308 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C185592680 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C192562407 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C2524010 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C2776799497 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C2779227376 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C2816523 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C33923547 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C64297162 @default.
- W3027677579 hasConceptScore W3027677579C69544855 @default.
- W3027677579 hasLocation W30276775791 @default.
- W3027677579 hasOpenAccess W3027677579 @default.
- W3027677579 hasPrimaryLocation W30276775791 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2071712540 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2301969218 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2313971390 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2403281988 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2558281994 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2597926160 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2800601581 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2920789355 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2969997526 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3042232745 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3168378295 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3202820789 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3212126569 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3213167061 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2724849551 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2756065440 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2778671745 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2817125368 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W2964497933 @default.
- W3027677579 hasRelatedWork W3107776151 @default.
- W3027677579 isParatext "false" @default.
- W3027677579 isRetracted "false" @default.
- W3027677579 magId "3027677579" @default.
- W3027677579 workType "article" @default.