Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3116201423> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 83 of
83
with 100 items per page.
- W3116201423 endingPage "1656" @default.
- W3116201423 startingPage "1656" @default.
- W3116201423 created "2021-01-05" @default.
- W3116201423 creator A5003550801 @default.
- W3116201423 creator A5007276756 @default.
- W3116201423 creator A5017974825 @default.
- W3116201423 creator A5021283314 @default.
- W3116201423 creator A5022722429 @default.
- W3116201423 creator A5028211275 @default.
- W3116201423 creator A5034157729 @default.
- W3116201423 creator A5041471553 @default.
- W3116201423 creator A5043329779 @default.
- W3116201423 creator A5051232628 @default.
- W3116201423 creator A5054155143 @default.
- W3116201423 creator A5068935887 @default.
- W3116201423 creator A5076716291 @default.
- W3116201423 creator A5086369327 @default.
- W3116201423 creator A5088952903 @default.
- W3116201423 date "2020-11-23" @default.
- W3116201423 modified "2023-09-26" @default.
- W3116201423 title "Beol Compatible High-Capacitance Mimcap Structure Using ZrO2 with Enhanced Dielectric Constant" @default.
- W3116201423 doi "https://doi.org/10.1149/ma2020-02231656mtgabs" @default.
- W3116201423 hasPublicationYear "2020" @default.
- W3116201423 type Work @default.
- W3116201423 sameAs 3116201423 @default.
- W3116201423 citedByCount "0" @default.
- W3116201423 crossrefType "journal-article" @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5003550801 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5007276756 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5017974825 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5021283314 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5022722429 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5028211275 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5034157729 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5041471553 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5043329779 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5051232628 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5054155143 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5068935887 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5076716291 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5086369327 @default.
- W3116201423 hasAuthorship W3116201423A5088952903 @default.
- W3116201423 hasConcept C119599485 @default.
- W3116201423 hasConcept C121332964 @default.
- W3116201423 hasConcept C127413603 @default.
- W3116201423 hasConcept C133386390 @default.
- W3116201423 hasConcept C16317505 @default.
- W3116201423 hasConcept C17525397 @default.
- W3116201423 hasConcept C192562407 @default.
- W3116201423 hasConcept C30066665 @default.
- W3116201423 hasConcept C49040817 @default.
- W3116201423 hasConcept C61696701 @default.
- W3116201423 hasConcept C62520636 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C119599485 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C121332964 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C127413603 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C133386390 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C16317505 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C17525397 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C192562407 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C30066665 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C49040817 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C61696701 @default.
- W3116201423 hasConceptScore W3116201423C62520636 @default.
- W3116201423 hasIssue "23" @default.
- W3116201423 hasLocation W31162014231 @default.
- W3116201423 hasOpenAccess W3116201423 @default.
- W3116201423 hasPrimaryLocation W31162014231 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2024170894 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2038127705 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2045924893 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2165557825 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2355889083 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2863738027 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2890924564 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W2894388424 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W3178457251 @default.
- W3116201423 hasRelatedWork W4253731651 @default.
- W3116201423 hasVolume "MA2020-02" @default.
- W3116201423 isParatext "false" @default.
- W3116201423 isRetracted "false" @default.
- W3116201423 magId "3116201423" @default.
- W3116201423 workType "article" @default.