Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3178797742> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 60 of
60
with 100 items per page.
- W3178797742 created "2021-07-19" @default.
- W3178797742 creator A5003669748 @default.
- W3178797742 creator A5048024733 @default.
- W3178797742 creator A5051414747 @default.
- W3178797742 creator A5051885698 @default.
- W3178797742 date "1986-01-01" @default.
- W3178797742 modified "2023-09-29" @default.
- W3178797742 title "Blanket tungsten applications in VLSI processing" @default.
- W3178797742 hasPublicationYear "1986" @default.
- W3178797742 type Work @default.
- W3178797742 sameAs 3178797742 @default.
- W3178797742 citedByCount "0" @default.
- W3178797742 crossrefType "journal-article" @default.
- W3178797742 hasAuthorship W3178797742A5003669748 @default.
- W3178797742 hasAuthorship W3178797742A5048024733 @default.
- W3178797742 hasAuthorship W3178797742A5051414747 @default.
- W3178797742 hasAuthorship W3178797742A5051885698 @default.
- W3178797742 hasConcept C14580979 @default.
- W3178797742 hasConcept C149635348 @default.
- W3178797742 hasConcept C159985019 @default.
- W3178797742 hasConcept C191897082 @default.
- W3178797742 hasConcept C192562407 @default.
- W3178797742 hasConcept C2779261148 @default.
- W3178797742 hasConcept C41008148 @default.
- W3178797742 hasConcept C542268612 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C14580979 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C149635348 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C159985019 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C191897082 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C192562407 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C2779261148 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C41008148 @default.
- W3178797742 hasConceptScore W3178797742C542268612 @default.
- W3178797742 hasLocation W31787977421 @default.
- W3178797742 hasOpenAccess W3178797742 @default.
- W3178797742 hasPrimaryLocation W31787977421 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W183959547 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W1969957165 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W207876320 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W2258778538 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W2258869 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W2287526144 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W2587318762 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W2898573223 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3172582634 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3190757042 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3193932527 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3195303501 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3195476699 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W3209180031 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W341081802 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W50684030 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W96445358 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W98541281 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W1566145950 @default.
- W3178797742 hasRelatedWork W1574222445 @default.
- W3178797742 isParatext "false" @default.
- W3178797742 isRetracted "false" @default.
- W3178797742 magId "3178797742" @default.
- W3178797742 workType "article" @default.