Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3178927679> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 65 of
65
with 100 items per page.
- W3178927679 startingPage "1634" @default.
- W3178927679 created "2021-07-19" @default.
- W3178927679 creator A5002187420 @default.
- W3178927679 creator A5010349870 @default.
- W3178927679 creator A5029992386 @default.
- W3178927679 creator A5050906876 @default.
- W3178927679 creator A5071013659 @default.
- W3178927679 date "2005-01-01" @default.
- W3178927679 modified "2023-09-24" @default.
- W3178927679 title "Development of a new photoresist material for ArF lithography" @default.
- W3178927679 hasPublicationYear "2005" @default.
- W3178927679 type Work @default.
- W3178927679 sameAs 3178927679 @default.
- W3178927679 citedByCount "0" @default.
- W3178927679 crossrefType "posted-content" @default.
- W3178927679 hasAuthorship W3178927679A5002187420 @default.
- W3178927679 hasAuthorship W3178927679A5010349870 @default.
- W3178927679 hasAuthorship W3178927679A5029992386 @default.
- W3178927679 hasAuthorship W3178927679A5050906876 @default.
- W3178927679 hasAuthorship W3178927679A5071013659 @default.
- W3178927679 hasConcept C134406635 @default.
- W3178927679 hasConcept C171250308 @default.
- W3178927679 hasConcept C192562407 @default.
- W3178927679 hasConcept C204223013 @default.
- W3178927679 hasConcept C2779227376 @default.
- W3178927679 hasConcept C41794268 @default.
- W3178927679 hasConcept C49040817 @default.
- W3178927679 hasConcept C53524968 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C134406635 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C171250308 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C192562407 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C204223013 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C2779227376 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C41794268 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C49040817 @default.
- W3178927679 hasConceptScore W3178927679C53524968 @default.
- W3178927679 hasIssue "1" @default.
- W3178927679 hasLocation W31789276791 @default.
- W3178927679 hasOpenAccess W3178927679 @default.
- W3178927679 hasPrimaryLocation W31789276791 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2095304297 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2124644048 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2148366905 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2273152340 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2296528248 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2315138063 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2326944429 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2377319432 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2553490753 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2594958298 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2783903581 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2891366481 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W3128711331 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W3129816680 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W80295310 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2014466059 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2863128020 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2865492934 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W2978383845 @default.
- W3178927679 hasRelatedWork W3132219182 @default.
- W3178927679 hasVolume "54" @default.
- W3178927679 isParatext "false" @default.
- W3178927679 isRetracted "false" @default.
- W3178927679 magId "3178927679" @default.
- W3178927679 workType "article" @default.