Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W3196765137> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 72 of
72
with 100 items per page.
- W3196765137 created "2021-09-13" @default.
- W3196765137 creator A5031014686 @default.
- W3196765137 creator A5047162517 @default.
- W3196765137 creator A5073300831 @default.
- W3196765137 creator A5077850920 @default.
- W3196765137 date "2003-10-01" @default.
- W3196765137 modified "2023-09-26" @default.
- W3196765137 title "Role of the fluorocarbon radical in silicon etching: Molecular dynamics simulations" @default.
- W3196765137 hasPublicationYear "2003" @default.
- W3196765137 type Work @default.
- W3196765137 sameAs 3196765137 @default.
- W3196765137 citedByCount "0" @default.
- W3196765137 crossrefType "journal-article" @default.
- W3196765137 hasAuthorship W3196765137A5031014686 @default.
- W3196765137 hasAuthorship W3196765137A5047162517 @default.
- W3196765137 hasAuthorship W3196765137A5073300831 @default.
- W3196765137 hasAuthorship W3196765137A5077850920 @default.
- W3196765137 hasConcept C100460472 @default.
- W3196765137 hasConcept C121332964 @default.
- W3196765137 hasConcept C145912823 @default.
- W3196765137 hasConcept C147597530 @default.
- W3196765137 hasConcept C159467904 @default.
- W3196765137 hasConcept C171250308 @default.
- W3196765137 hasConcept C178790620 @default.
- W3196765137 hasConcept C185592680 @default.
- W3196765137 hasConcept C192562407 @default.
- W3196765137 hasConcept C24890656 @default.
- W3196765137 hasConcept C2776875633 @default.
- W3196765137 hasConcept C2779227376 @default.
- W3196765137 hasConcept C544956773 @default.
- W3196765137 hasConcept C59593255 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C100460472 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C121332964 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C145912823 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C147597530 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C159467904 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C171250308 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C178790620 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C185592680 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C192562407 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C24890656 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C2776875633 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C2779227376 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C544956773 @default.
- W3196765137 hasConceptScore W3196765137C59593255 @default.
- W3196765137 hasLocation W31967651371 @default.
- W3196765137 hasOpenAccess W3196765137 @default.
- W3196765137 hasPrimaryLocation W31967651371 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W1969256561 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2002216049 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2003452706 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2025301367 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2041380681 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2053059177 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2061718833 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2063210087 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2147474017 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2315445095 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2341285779 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2768815029 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W2794761695 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3004241201 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3009185921 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3086067452 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3120369009 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3153361277 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3195056927 @default.
- W3196765137 hasRelatedWork W3211352657 @default.
- W3196765137 isParatext "false" @default.
- W3196765137 isRetracted "false" @default.
- W3196765137 magId "3196765137" @default.
- W3196765137 workType "article" @default.