Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4233337459> ?p ?o ?g. }
- W4233337459 endingPage "067101" @default.
- W4233337459 startingPage "067101" @default.
- W4233337459 created "2022-05-12" @default.
- W4233337459 creator A5024916126 @default.
- W4233337459 creator A5034012065 @default.
- W4233337459 creator A5062100849 @default.
- W4233337459 creator A5064016127 @default.
- W4233337459 date "2012-06-01" @default.
- W4233337459 modified "2023-09-27" @default.
- W4233337459 title "Parametric Study on the Physical Action of Steam–Water Mixture Jet: Removal of Photoresist Film from Silicon Wafer Surfaces" @default.
- W4233337459 cites W1969845967 @default.
- W4233337459 cites W1974986180 @default.
- W4233337459 cites W1982991814 @default.
- W4233337459 cites W1986202061 @default.
- W4233337459 cites W2012081858 @default.
- W4233337459 cites W2018324516 @default.
- W4233337459 cites W2032642941 @default.
- W4233337459 cites W2033858872 @default.
- W4233337459 cites W2037624572 @default.
- W4233337459 cites W2040776998 @default.
- W4233337459 cites W2043821577 @default.
- W4233337459 cites W2049320801 @default.
- W4233337459 cites W2050936726 @default.
- W4233337459 cites W2055704047 @default.
- W4233337459 cites W2058212634 @default.
- W4233337459 cites W2058807289 @default.
- W4233337459 cites W2064943075 @default.
- W4233337459 cites W2066962115 @default.
- W4233337459 cites W2067720198 @default.
- W4233337459 cites W2068496224 @default.
- W4233337459 cites W2068978709 @default.
- W4233337459 cites W2070024425 @default.
- W4233337459 cites W2072592325 @default.
- W4233337459 cites W2085323649 @default.
- W4233337459 cites W2086871077 @default.
- W4233337459 cites W2090476339 @default.
- W4233337459 cites W2090884824 @default.
- W4233337459 cites W2091358652 @default.
- W4233337459 cites W2095603039 @default.
- W4233337459 cites W2114489029 @default.
- W4233337459 cites W2116790704 @default.
- W4233337459 cites W2132590989 @default.
- W4233337459 cites W2135268154 @default.
- W4233337459 cites W2153474136 @default.
- W4233337459 cites W2314829392 @default.
- W4233337459 cites W2328915136 @default.
- W4233337459 doi "https://doi.org/10.7567/jjap.51.067101" @default.
- W4233337459 hasPublicationYear "2012" @default.
- W4233337459 type Work @default.
- W4233337459 citedByCount "2" @default.
- W4233337459 countsByYear W42333374592014 @default.
- W4233337459 countsByYear W42333374592015 @default.
- W4233337459 crossrefType "journal-article" @default.
- W4233337459 hasAuthorship W4233337459A5024916126 @default.
- W4233337459 hasAuthorship W4233337459A5034012065 @default.
- W4233337459 hasAuthorship W4233337459A5062100849 @default.
- W4233337459 hasAuthorship W4233337459A5064016127 @default.
- W4233337459 hasConcept C105795698 @default.
- W4233337459 hasConcept C117251300 @default.
- W4233337459 hasConcept C119947313 @default.
- W4233337459 hasConcept C121332964 @default.
- W4233337459 hasConcept C134406635 @default.
- W4233337459 hasConcept C160671074 @default.
- W4233337459 hasConcept C171250308 @default.
- W4233337459 hasConcept C192562407 @default.
- W4233337459 hasConcept C2779227376 @default.
- W4233337459 hasConcept C2780791683 @default.
- W4233337459 hasConcept C33923547 @default.
- W4233337459 hasConcept C49040817 @default.
- W4233337459 hasConcept C544956773 @default.
- W4233337459 hasConcept C57879066 @default.
- W4233337459 hasConcept C62520636 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C105795698 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C117251300 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C119947313 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C121332964 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C134406635 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C160671074 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C171250308 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C192562407 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C2779227376 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C2780791683 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C33923547 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C49040817 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C544956773 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C57879066 @default.
- W4233337459 hasConceptScore W4233337459C62520636 @default.
- W4233337459 hasIssue "6R" @default.
- W4233337459 hasLocation W42333374591 @default.
- W4233337459 hasOpenAccess W4233337459 @default.
- W4233337459 hasPrimaryLocation W42333374591 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W10220797 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W26448496 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W30683379 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W33057901 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W34404347 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W35052807 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W3764743 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W47394922 @default.
- W4233337459 hasRelatedWork W48813464 @default.