Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4313165108> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 62 of
62
with 100 items per page.
- W4313165108 endingPage "233" @default.
- W4313165108 startingPage "228" @default.
- W4313165108 created "2023-01-06" @default.
- W4313165108 creator A5024399548 @default.
- W4313165108 creator A5036417306 @default.
- W4313165108 creator A5040382775 @default.
- W4313165108 creator A5078439235 @default.
- W4313165108 creator A5078984636 @default.
- W4313165108 date "2022-01-01" @default.
- W4313165108 modified "2023-09-25" @default.
- W4313165108 title "TCAD Simulation of the Etching of the Sacrificial Layer in the Sensitive Element of the IR Microbolometer Array Based on the SOI Structure" @default.
- W4313165108 doi "https://doi.org/10.31114/2078-7707-2022-4-228-233" @default.
- W4313165108 hasPublicationYear "2022" @default.
- W4313165108 type Work @default.
- W4313165108 citedByCount "0" @default.
- W4313165108 crossrefType "journal-article" @default.
- W4313165108 hasAuthorship W4313165108A5024399548 @default.
- W4313165108 hasAuthorship W4313165108A5036417306 @default.
- W4313165108 hasAuthorship W4313165108A5040382775 @default.
- W4313165108 hasAuthorship W4313165108A5078439235 @default.
- W4313165108 hasAuthorship W4313165108A5078984636 @default.
- W4313165108 hasBestOaLocation W43131651081 @default.
- W4313165108 hasConcept C100460472 @default.
- W4313165108 hasConcept C119599485 @default.
- W4313165108 hasConcept C127413603 @default.
- W4313165108 hasConcept C171250308 @default.
- W4313165108 hasConcept C192562407 @default.
- W4313165108 hasConcept C21028948 @default.
- W4313165108 hasConcept C2776111576 @default.
- W4313165108 hasConcept C2779227376 @default.
- W4313165108 hasConcept C49040817 @default.
- W4313165108 hasConcept C53143962 @default.
- W4313165108 hasConcept C544956773 @default.
- W4313165108 hasConcept C94915269 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C100460472 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C119599485 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C127413603 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C171250308 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C192562407 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C21028948 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C2776111576 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C2779227376 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C49040817 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C53143962 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C544956773 @default.
- W4313165108 hasConceptScore W4313165108C94915269 @default.
- W4313165108 hasLocation W43131651081 @default.
- W4313165108 hasOpenAccess W4313165108 @default.
- W4313165108 hasPrimaryLocation W43131651081 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W1973318431 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W1975679687 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2013076659 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2030738448 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2048831694 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2069825465 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2354849850 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2899364123 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W4313165108 @default.
- W4313165108 hasRelatedWork W2463152212 @default.
- W4313165108 isParatext "false" @default.
- W4313165108 isRetracted "false" @default.
- W4313165108 workType "article" @default.