FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4384927207> ?p ?o ?g. }

• W4384927207 endingPage "6565" @default.
• W4384927207 startingPage "6551" @default.
• W4384927207 created "2023-07-22" @default.
• W4384927207 creator A5043303548 @default.
• W4384927207 creator A5052423800 @default.
• W4384927207 creator A5090299824 @default.
• W4384927207 date "2023-07-20" @default.
• W4384927207 modified "2023-09-23" @default.
• W4384927207 title "Effect of Potassium Iodate-Based Slurry for Polishing of Ruthenium (Ru) as Advanced Interconnects" @default.
• W4384927207 cites W1480996661 @default.
• W4384927207 cites W1967414233 @default.
• W4384927207 cites W1973064562 @default.
• W4384927207 cites W1981359383 @default.
• W4384927207 cites W1981899986 @default.
• W4384927207 cites W1987019677 @default.
• W4384927207 cites W1988216255 @default.
• W4384927207 cites W1992791539 @default.
• W4384927207 cites W1997351014 @default.
• W4384927207 cites W1998946080 @default.
• W4384927207 cites W2003349207 @default.
• W4384927207 cites W2007817125 @default.
• W4384927207 cites W2009162004 @default.
• W4384927207 cites W2020192844 @default.
• W4384927207 cites W2020462389 @default.
• W4384927207 cites W2025974817 @default.
• W4384927207 cites W2029304723 @default.
• W4384927207 cites W2034089924 @default.
• W4384927207 cites W2035652054 @default.
• W4384927207 cites W2036829936 @default.
• W4384927207 cites W2048615411 @default.
• W4384927207 cites W2048728051 @default.
• W4384927207 cites W2063719830 @default.
• W4384927207 cites W2065160865 @default.
• W4384927207 cites W2067319177 @default.
• W4384927207 cites W2069377610 @default.
• W4384927207 cites W2072176794 @default.
• W4384927207 cites W2072761967 @default.
• W4384927207 cites W2073975915 @default.
• W4384927207 cites W2075683281 @default.
• W4384927207 cites W2085653488 @default.
• W4384927207 cites W2088420805 @default.
• W4384927207 cites W2088579278 @default.
• W4384927207 cites W2103191051 @default.
• W4384927207 cites W2108644194 @default.
• W4384927207 cites W2122957076 @default.
• W4384927207 cites W2146796505 @default.
• W4384927207 cites W2157210040 @default.
• W4384927207 cites W2194681652 @default.
• W4384927207 cites W2253130025 @default.
• W4384927207 cites W2314137669 @default.
• W4384927207 cites W2314960637 @default.
• W4384927207 cites W2326716534 @default.
• W4384927207 cites W2333406833 @default.
• W4384927207 cites W2370393838 @default.
• W4384927207 cites W2415113020 @default.
• W4384927207 cites W2474119460 @default.
• W4384927207 cites W2522262728 @default.
• W4384927207 cites W2606167448 @default.
• W4384927207 cites W2626706989 @default.
• W4384927207 cites W2794905394 @default.
• W4384927207 cites W2891379061 @default.
• W4384927207 cites W2915642178 @default.
• W4384927207 cites W2928033619 @default.
• W4384927207 cites W2940838907 @default.
• W4384927207 cites W2946155022 @default.
• W4384927207 cites W3023734933 @default.
• W4384927207 cites W3025027030 @default.
• W4384927207 cites W3029072900 @default.
• W4384927207 cites W3122195676 @default.
• W4384927207 cites W3130474769 @default.
• W4384927207 cites W4256295452 @default.
• W4384927207 cites W4283726349 @default.
• W4384927207 cites W4285404912 @default.
• W4384927207 cites W4309772117 @default.
• W4384927207 cites W4367609691 @default.
• W4384927207 cites W880959648 @default.
• W4384927207 doi "https://doi.org/10.1007/s11664-023-10585-6" @default.
• W4384927207 hasPublicationYear "2023" @default.
• W4384927207 type Work @default.
• W4384927207 citedByCount "0" @default.
• W4384927207 crossrefType "journal-article" @default.
• W4384927207 hasAuthorship W4384927207A5043303548 @default.
• W4384927207 hasAuthorship W4384927207A5052423800 @default.
• W4384927207 hasAuthorship W4384927207A5090299824 @default.
• W4384927207 hasConcept C127413603 @default.
• W4384927207 hasConcept C138113353 @default.
• W4384927207 hasConcept C148328677 @default.
• W4384927207 hasConcept C150394285 @default.
• W4384927207 hasConcept C159985019 @default.
• W4384927207 hasConcept C160892712 @default.
• W4384927207 hasConcept C178790620 @default.
• W4384927207 hasConcept C179104552 @default.
• W4384927207 hasConcept C180088628 @default.
• W4384927207 hasConcept C185592680 @default.
• W4384927207 hasConcept C191897082 @default.
• W4384927207 hasConcept C192562407 @default.
• W4384927207 hasConcept C2777489994 @default.
• W4384927207 hasConcept C2780780826 @default.
• W4384927207 hasConcept C42360764 @default.
• W4384927207 hasConcept C539932907 @default.

• next