Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W4386325703> ?p ?o ?g. }
- W4386325703 endingPage "4468" @default.
- W4386325703 startingPage "4455" @default.
- W4386325703 created "2023-09-01" @default.
- W4386325703 creator A5010222254 @default.
- W4386325703 creator A5052242401 @default.
- W4386325703 creator A5079049084 @default.
- W4386325703 date "2023-08-31" @default.
- W4386325703 modified "2023-10-16" @default.
- W4386325703 title "Modeling of material removal in copper blanket wafer polishing based on the hard polishing pad microstructure" @default.
- W4386325703 cites W1965672041 @default.
- W4386325703 cites W1975759764 @default.
- W4386325703 cites W1983665326 @default.
- W4386325703 cites W1988091714 @default.
- W4386325703 cites W1996370988 @default.
- W4386325703 cites W1999059098 @default.
- W4386325703 cites W2000369278 @default.
- W4386325703 cites W2001882788 @default.
- W4386325703 cites W2009725826 @default.
- W4386325703 cites W2013654435 @default.
- W4386325703 cites W2020559625 @default.
- W4386325703 cites W2022510607 @default.
- W4386325703 cites W2030939156 @default.
- W4386325703 cites W2035795020 @default.
- W4386325703 cites W2051166244 @default.
- W4386325703 cites W2054345414 @default.
- W4386325703 cites W2066144749 @default.
- W4386325703 cites W2086827153 @default.
- W4386325703 cites W2110937551 @default.
- W4386325703 cites W2116882172 @default.
- W4386325703 cites W2124756493 @default.
- W4386325703 cites W2127767984 @default.
- W4386325703 cites W2155457539 @default.
- W4386325703 cites W2162354220 @default.
- W4386325703 cites W2260561992 @default.
- W4386325703 cites W2470121600 @default.
- W4386325703 cites W2503688236 @default.
- W4386325703 cites W2525486548 @default.
- W4386325703 cites W2598901603 @default.
- W4386325703 cites W2742723137 @default.
- W4386325703 cites W2793321020 @default.
- W4386325703 cites W2800571901 @default.
- W4386325703 cites W2897258433 @default.
- W4386325703 cites W2899024481 @default.
- W4386325703 cites W2902834103 @default.
- W4386325703 cites W2906334419 @default.
- W4386325703 cites W2971837190 @default.
- W4386325703 cites W2976354561 @default.
- W4386325703 cites W2979333441 @default.
- W4386325703 cites W2989754937 @default.
- W4386325703 cites W3008714315 @default.
- W4386325703 cites W3013233047 @default.
- W4386325703 cites W3016368135 @default.
- W4386325703 cites W3040051264 @default.
- W4386325703 cites W3082893996 @default.
- W4386325703 cites W3134660842 @default.
- W4386325703 cites W3139258503 @default.
- W4386325703 cites W3157301837 @default.
- W4386325703 cites W3164797028 @default.
- W4386325703 cites W3176711073 @default.
- W4386325703 cites W3214308621 @default.
- W4386325703 cites W4224447377 @default.
- W4386325703 cites W4282914827 @default.
- W4386325703 cites W4376106163 @default.
- W4386325703 cites W564193049 @default.
- W4386325703 doi "https://doi.org/10.1007/s00170-023-12204-4" @default.
- W4386325703 hasPublicationYear "2023" @default.
- W4386325703 type Work @default.
- W4386325703 citedByCount "0" @default.
- W4386325703 crossrefType "journal-article" @default.
- W4386325703 hasAuthorship W4386325703A5010222254 @default.
- W4386325703 hasAuthorship W4386325703A5052242401 @default.
- W4386325703 hasAuthorship W4386325703A5079049084 @default.
- W4386325703 hasConcept C107365816 @default.
- W4386325703 hasConcept C116372231 @default.
- W4386325703 hasConcept C127413603 @default.
- W4386325703 hasConcept C138113353 @default.
- W4386325703 hasConcept C159985019 @default.
- W4386325703 hasConcept C160671074 @default.
- W4386325703 hasConcept C180088628 @default.
- W4386325703 hasConcept C191897082 @default.
- W4386325703 hasConcept C192562407 @default.
- W4386325703 hasConcept C199639397 @default.
- W4386325703 hasConcept C2779227376 @default.
- W4386325703 hasConcept C2779261148 @default.
- W4386325703 hasConcept C2780957350 @default.
- W4386325703 hasConcept C33574316 @default.
- W4386325703 hasConcept C49040817 @default.
- W4386325703 hasConcept C544778455 @default.
- W4386325703 hasConcept C87976508 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C107365816 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C116372231 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C127413603 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C138113353 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C159985019 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C160671074 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C180088628 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C191897082 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C192562407 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C199639397 @default.
- W4386325703 hasConceptScore W4386325703C2779227376 @default.