FRINK Linked Data Fragments server

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W47947705> ?p ?o ?g. }

• W47947705 endingPage "414" @default.
• W47947705 startingPage "399" @default.
• W47947705 created "2016-06-24" @default.
• W47947705 creator A5071675413 @default.
• W47947705 date "2004-01-01" @default.
• W47947705 modified "2023-09-26" @default.
• W47947705 title "Lithography for Silicon Nanotechnology" @default.
• W47947705 cites W1965702561 @default.
• W47947705 cites W1970574656 @default.
• W47947705 cites W1972501271 @default.
• W47947705 cites W1986838720 @default.
• W47947705 cites W1990971622 @default.
• W47947705 cites W2005485153 @default.
• W47947705 cites W2013559926 @default.
• W47947705 cites W2015498249 @default.
• W47947705 cites W2027017570 @default.
• W47947705 cites W2045147185 @default.
• W47947705 cites W2053508928 @default.
• W47947705 cites W2057731975 @default.
• W47947705 cites W2062047511 @default.
• W47947705 cites W2070127637 @default.
• W47947705 cites W2072265161 @default.
• W47947705 cites W2115669216 @default.
• W47947705 cites W4234402478 @default.
• W47947705 doi "https://doi.org/10.1007/978-3-662-09897-4_19" @default.
• W47947705 hasPublicationYear "2004" @default.
• W47947705 type Work @default.
• W47947705 sameAs 47947705 @default.
• W47947705 citedByCount "0" @default.
• W47947705 crossrefType "book-chapter" @default.
• W47947705 hasAuthorship W47947705A5071675413 @default.
• W47947705 hasConcept C105487726 @default.
• W47947705 hasConcept C136525101 @default.
• W47947705 hasConcept C142362112 @default.
• W47947705 hasConcept C142724271 @default.
• W47947705 hasConcept C153349607 @default.
• W47947705 hasConcept C163581340 @default.
• W47947705 hasConcept C171250308 @default.
• W47947705 hasConcept C177409738 @default.
• W47947705 hasConcept C182873914 @default.
• W47947705 hasConcept C192562407 @default.
• W47947705 hasConcept C200274948 @default.
• W47947705 hasConcept C204223013 @default.
• W47947705 hasConcept C204787440 @default.
• W47947705 hasConcept C2777402240 @default.
• W47947705 hasConcept C2779227376 @default.
• W47947705 hasConcept C41794268 @default.
• W47947705 hasConcept C49040817 @default.
• W47947705 hasConcept C53524968 @default.
• W47947705 hasConcept C544956773 @default.
• W47947705 hasConcept C70520399 @default.
• W47947705 hasConcept C71924100 @default.
• W47947705 hasConcept C94263209 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C105487726 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C136525101 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C142362112 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C142724271 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C153349607 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C163581340 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C171250308 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C177409738 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C182873914 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C192562407 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C200274948 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C204223013 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C204787440 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C2777402240 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C2779227376 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C41794268 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C49040817 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C53524968 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C544956773 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C70520399 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C71924100 @default.
• W47947705 hasConceptScore W47947705C94263209 @default.
• W47947705 hasLocation W479477051 @default.
• W47947705 hasOpenAccess W47947705 @default.
• W47947705 hasPrimaryLocation W479477051 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W141500359 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W146586945 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W1576240288 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W1604784661 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W1992419143 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2019041995 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2039506060 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2100041342 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2479224809 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2500598901 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2518675249 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2539082577 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W193023950 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2017176363 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2245862128 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2410015346 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2783524607 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2816315855 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2861032625 @default.
• W47947705 hasRelatedWork W2933173074 @default.
• W47947705 isParatext "false" @default.
• W47947705 isRetracted "false" @default.

• next