SemOpenAlex |

SemOpenAlex

Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W70036167> ?p ?o ?g. }

Showing items 1 to 100 of ±105 with 100 items per page.

W70036167 created "2016-06-24" @default.
W70036167 creator A5009341599 @default.
W70036167 creator A5048008374 @default.
W70036167 creator A5051005803 @default.
W70036167 creator A5079327645 @default.
W70036167 creator A5079432618 @default.
W70036167 creator A5086541695 @default.
W70036167 date "1997-01-01" @default.
W70036167 modified "2023-10-17" @default.
W70036167 title "Cl2 Plasma — Si Surface Interactions in Plasma Etching: X-ray Photoelectron Spectroscopy After Etching, and Optical and Mass Spectrometry Methods During Etching" @default.
W70036167 cites W1972823094 @default.
W70036167 cites W1980038009 @default.
W70036167 cites W1980266088 @default.
W70036167 cites W1983256684 @default.
W70036167 cites W1987789939 @default.
W70036167 cites W1988061901 @default.
W70036167 cites W1989126093 @default.
W70036167 cites W1995181084 @default.
W70036167 cites W2001070308 @default.
W70036167 cites W2002676026 @default.
W70036167 cites W2006747060 @default.
W70036167 cites W2006961777 @default.
W70036167 cites W2008665558 @default.
W70036167 cites W2012894662 @default.
W70036167 cites W2033111884 @default.
W70036167 cites W2036133407 @default.
W70036167 cites W2054860018 @default.
W70036167 cites W2055021117 @default.
W70036167 cites W2061519262 @default.
W70036167 cites W2063742019 @default.
W70036167 cites W2065136748 @default.
W70036167 cites W2065354689 @default.
W70036167 cites W2065451937 @default.
W70036167 cites W2070897378 @default.
W70036167 cites W2071164594 @default.
W70036167 cites W2077360197 @default.
W70036167 cites W2077841130 @default.
W70036167 cites W2086722021 @default.
W70036167 cites W2093750845 @default.
W70036167 cites W2950740811 @default.
W70036167 doi "https://doi.org/10.1007/978-94-011-5884-8_14" @default.
W70036167 hasPublicationYear "1997" @default.
W70036167 type Work @default.
W70036167 sameAs 70036167 @default.
W70036167 citedByCount "0" @default.
W70036167 crossrefType "book-chapter" @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5009341599 @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5048008374 @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5051005803 @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5079327645 @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5079432618 @default.
W70036167 hasAuthorship W70036167A5086541695 @default.
W70036167 hasConcept C100460472 @default.
W70036167 hasConcept C113196181 @default.
W70036167 hasConcept C121332964 @default.
W70036167 hasConcept C147789679 @default.
W70036167 hasConcept C150394285 @default.
W70036167 hasConcept C162711632 @default.
W70036167 hasConcept C175708663 @default.
W70036167 hasConcept C178790620 @default.
W70036167 hasConcept C185592680 @default.
W70036167 hasConcept C2779227376 @default.
W70036167 hasConcept C43617362 @default.
W70036167 hasConcept C46141821 @default.
W70036167 hasConcept C505241676 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C100460472 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C113196181 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C121332964 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C147789679 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C150394285 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C162711632 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C175708663 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C178790620 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C185592680 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C2779227376 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C43617362 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C46141821 @default.
W70036167 hasConceptScore W70036167C505241676 @default.
W70036167 hasLocation W700361671 @default.
W70036167 hasOpenAccess W70036167 @default.
W70036167 hasPrimaryLocation W700361671 @default.
W70036167 hasRelatedWork W1968293950 @default.
W70036167 hasRelatedWork W1989104254 @default.
W70036167 hasRelatedWork W1997656960 @default.
W70036167 hasRelatedWork W1999503492 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2003979947 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2014087931 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2017796964 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2026519374 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2051202204 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2061887551 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2071150469 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2071404912 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2072448179 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2081335611 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2089310778 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2090453192 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2097800392 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2317259175 @default.
W70036167 hasRelatedWork W2321531094 @default.