Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W70103163> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 58 of
58
with 100 items per page.
- W70103163 created "2016-06-24" @default.
- W70103163 creator A5031003717 @default.
- W70103163 creator A5043979844 @default.
- W70103163 creator A5079562716 @default.
- W70103163 date "2004-05-06" @default.
- W70103163 modified "2023-09-27" @default.
- W70103163 title "E-Beam inspection: best practices for copper logic and foundry fabs" @default.
- W70103163 cites W2108821085 @default.
- W70103163 cites W2518787500 @default.
- W70103163 doi "https://doi.org/10.1109/issm.2003.1243311" @default.
- W70103163 hasPublicationYear "2004" @default.
- W70103163 type Work @default.
- W70103163 sameAs 70103163 @default.
- W70103163 citedByCount "1" @default.
- W70103163 crossrefType "proceedings-article" @default.
- W70103163 hasAuthorship W70103163A5031003717 @default.
- W70103163 hasAuthorship W70103163A5043979844 @default.
- W70103163 hasAuthorship W70103163A5079562716 @default.
- W70103163 hasConcept C117671659 @default.
- W70103163 hasConcept C127413603 @default.
- W70103163 hasConcept C191897082 @default.
- W70103163 hasConcept C192562407 @default.
- W70103163 hasConcept C2781087836 @default.
- W70103163 hasConcept C41008148 @default.
- W70103163 hasConcept C544778455 @default.
- W70103163 hasConcept C78519656 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C117671659 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C127413603 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C191897082 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C192562407 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C2781087836 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C41008148 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C544778455 @default.
- W70103163 hasConceptScore W70103163C78519656 @default.
- W70103163 hasLocation W701031631 @default.
- W70103163 hasOpenAccess W70103163 @default.
- W70103163 hasPrimaryLocation W701031631 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1521605209 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1573203268 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1635818937 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1727553540 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1896628607 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W1902403142 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2027557019 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2074446690 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2148463715 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2224164574 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W3001196817 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W3138620953 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W3140414954 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W3150852698 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2186607588 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2223713868 @default.
- W70103163 hasRelatedWork W2304333174 @default.
- W70103163 isParatext "false" @default.
- W70103163 isRetracted "false" @default.
- W70103163 magId "70103163" @default.
- W70103163 workType "article" @default.