Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W77857592> ?p ?o ?g. }
- W77857592 created "2016-06-24" @default.
- W77857592 creator A5007117767 @default.
- W77857592 creator A5061924957 @default.
- W77857592 creator A5062841020 @default.
- W77857592 creator A5085081246 @default.
- W77857592 date "1993-01-01" @default.
- W77857592 modified "2023-09-24" @default.
- W77857592 title "Formation of Si/SiO2 Heterostructures by Low-Temperature, Plasma-Assisted Oxidation and Deposition Processes" @default.
- W77857592 cites W1963887314 @default.
- W77857592 cites W1972949390 @default.
- W77857592 cites W1979424228 @default.
- W77857592 cites W1992306551 @default.
- W77857592 cites W2019212189 @default.
- W77857592 cites W2029672137 @default.
- W77857592 cites W2030881929 @default.
- W77857592 cites W2034186947 @default.
- W77857592 cites W2035270798 @default.
- W77857592 cites W2038778457 @default.
- W77857592 cites W2049977754 @default.
- W77857592 cites W2318017734 @default.
- W77857592 cites W2503127493 @default.
- W77857592 doi "https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1588-7_16" @default.
- W77857592 hasPublicationYear "1993" @default.
- W77857592 type Work @default.
- W77857592 sameAs 77857592 @default.
- W77857592 citedByCount "0" @default.
- W77857592 crossrefType "book-chapter" @default.
- W77857592 hasAuthorship W77857592A5007117767 @default.
- W77857592 hasAuthorship W77857592A5061924957 @default.
- W77857592 hasAuthorship W77857592A5062841020 @default.
- W77857592 hasAuthorship W77857592A5085081246 @default.
- W77857592 hasConcept C107872376 @default.
- W77857592 hasConcept C113196181 @default.
- W77857592 hasConcept C121332964 @default.
- W77857592 hasConcept C127413603 @default.
- W77857592 hasConcept C151730666 @default.
- W77857592 hasConcept C160671074 @default.
- W77857592 hasConcept C171250308 @default.
- W77857592 hasConcept C185592680 @default.
- W77857592 hasConcept C191897082 @default.
- W77857592 hasConcept C192562407 @default.
- W77857592 hasConcept C194760766 @default.
- W77857592 hasConcept C2779227376 @default.
- W77857592 hasConcept C2779851234 @default.
- W77857592 hasConcept C2780740191 @default.
- W77857592 hasConcept C2816523 @default.
- W77857592 hasConcept C38347018 @default.
- W77857592 hasConcept C42360764 @default.
- W77857592 hasConcept C49040817 @default.
- W77857592 hasConcept C57410435 @default.
- W77857592 hasConcept C62520636 @default.
- W77857592 hasConcept C64297162 @default.
- W77857592 hasConcept C69544855 @default.
- W77857592 hasConcept C79794668 @default.
- W77857592 hasConcept C82706917 @default.
- W77857592 hasConcept C86803240 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C107872376 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C113196181 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C121332964 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C127413603 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C151730666 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C160671074 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C171250308 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C185592680 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C191897082 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C192562407 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C194760766 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C2779227376 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C2779851234 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C2780740191 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C2816523 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C38347018 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C42360764 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C49040817 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C57410435 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C62520636 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C64297162 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C69544855 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C79794668 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C82706917 @default.
- W77857592 hasConceptScore W77857592C86803240 @default.
- W77857592 hasLocation W778575921 @default.
- W77857592 hasOpenAccess W77857592 @default.
- W77857592 hasPrimaryLocation W778575921 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W1972835610 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W1981577681 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W1994853664 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2005101278 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2006052223 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2015532159 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2022685452 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2026685740 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2038305061 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2041534572 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2069825367 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2085984638 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2096821721 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2124111105 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2135896823 @default.
- W77857592 hasRelatedWork W2172198597 @default.