Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W779833143> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 69 of
69
with 100 items per page.
- W779833143 endingPage "20" @default.
- W779833143 startingPage "13" @default.
- W779833143 created "2016-06-24" @default.
- W779833143 creator A5000591749 @default.
- W779833143 creator A5059627817 @default.
- W779833143 creator A5069526349 @default.
- W779833143 date "1995-01-01" @default.
- W779833143 modified "2023-09-27" @default.
- W779833143 title "Selective Deposition of in-situ doped polysilicon using RTP-CVD for Shallow Junction Formation" @default.
- W779833143 hasPublicationYear "1995" @default.
- W779833143 type Work @default.
- W779833143 sameAs 779833143 @default.
- W779833143 citedByCount "0" @default.
- W779833143 crossrefType "journal-article" @default.
- W779833143 hasAuthorship W779833143A5000591749 @default.
- W779833143 hasAuthorship W779833143A5059627817 @default.
- W779833143 hasAuthorship W779833143A5069526349 @default.
- W779833143 hasConcept C127313418 @default.
- W779833143 hasConcept C151730666 @default.
- W779833143 hasConcept C178790620 @default.
- W779833143 hasConcept C185592680 @default.
- W779833143 hasConcept C192562407 @default.
- W779833143 hasConcept C2777822432 @default.
- W779833143 hasConcept C2816523 @default.
- W779833143 hasConcept C49040817 @default.
- W779833143 hasConcept C544956773 @default.
- W779833143 hasConcept C57410435 @default.
- W779833143 hasConcept C57863236 @default.
- W779833143 hasConcept C64297162 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C127313418 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C151730666 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C178790620 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C185592680 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C192562407 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C2777822432 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C2816523 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C49040817 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C544956773 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C57410435 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C57863236 @default.
- W779833143 hasConceptScore W779833143C64297162 @default.
- W779833143 hasLocation W7798331431 @default.
- W779833143 hasOpenAccess W779833143 @default.
- W779833143 hasPrimaryLocation W7798331431 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W1481158755 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W1964918374 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W1973409867 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2071878232 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2074972088 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2113885654 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2140846126 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2163738368 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2294797064 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2295537089 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2313272514 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2328628047 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2804597524 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2952627152 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W3048035329 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W3196394458 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2402109701 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2740972965 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W2761434174 @default.
- W779833143 hasRelatedWork W3100409960 @default.
- W779833143 hasVolume "4" @default.
- W779833143 isParatext "false" @default.
- W779833143 isRetracted "false" @default.
- W779833143 magId "779833143" @default.
- W779833143 workType "article" @default.