Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W785296064> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 94 of
94
with 100 items per page.
- W785296064 endingPage "260" @default.
- W785296064 startingPage "251" @default.
- W785296064 created "2016-06-24" @default.
- W785296064 creator A5021671287 @default.
- W785296064 creator A5029758283 @default.
- W785296064 creator A5039335197 @default.
- W785296064 creator A5042160136 @default.
- W785296064 creator A5061193706 @default.
- W785296064 creator A5065423560 @default.
- W785296064 creator A5066925409 @default.
- W785296064 creator A5075290001 @default.
- W785296064 creator A5083861014 @default.
- W785296064 date "2000-01-01" @default.
- W785296064 modified "2023-09-23" @default.
- W785296064 title "High-performance integration of copper interconnects with low-k hydrogen silsesquioxane employing deuterium plasma treatment" @default.
- W785296064 hasPublicationYear "2000" @default.
- W785296064 type Work @default.
- W785296064 sameAs 785296064 @default.
- W785296064 citedByCount "0" @default.
- W785296064 crossrefType "journal-article" @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5021671287 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5029758283 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5039335197 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5042160136 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5061193706 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5065423560 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5066925409 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5075290001 @default.
- W785296064 hasAuthorship W785296064A5083861014 @default.
- W785296064 hasConcept C121332964 @default.
- W785296064 hasConcept C159985019 @default.
- W785296064 hasConcept C171250308 @default.
- W785296064 hasConcept C178790620 @default.
- W785296064 hasConcept C185544564 @default.
- W785296064 hasConcept C185592680 @default.
- W785296064 hasConcept C191897082 @default.
- W785296064 hasConcept C192562407 @default.
- W785296064 hasConcept C200274948 @default.
- W785296064 hasConcept C2778339742 @default.
- W785296064 hasConcept C2779063765 @default.
- W785296064 hasConcept C2779227376 @default.
- W785296064 hasConcept C512968161 @default.
- W785296064 hasConcept C521977710 @default.
- W785296064 hasConcept C53524968 @default.
- W785296064 hasConcept C544778455 @default.
- W785296064 hasConcept C58364064 @default.
- W785296064 hasConcept C82706917 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C121332964 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C159985019 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C171250308 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C178790620 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C185544564 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C185592680 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C191897082 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C192562407 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C200274948 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C2778339742 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C2779063765 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C2779227376 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C512968161 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C521977710 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C53524968 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C544778455 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C58364064 @default.
- W785296064 hasConceptScore W785296064C82706917 @default.
- W785296064 hasIssue "31" @default.
- W785296064 hasLocation W7852960641 @default.
- W785296064 hasOpenAccess W785296064 @default.
- W785296064 hasPrimaryLocation W7852960641 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1532022296 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1679102792 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1838623502 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1897503535 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1900108666 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1926783841 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1972557106 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W1992598109 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2055139770 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2057657898 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2104716556 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2130328302 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2152207065 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2154278931 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2157056692 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2160118000 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W2619605557 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W3017252622 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W3024069257 @default.
- W785296064 hasRelatedWork W3183377989 @default.
- W785296064 hasVolume "99" @default.
- W785296064 isParatext "false" @default.
- W785296064 isRetracted "false" @default.
- W785296064 magId "785296064" @default.
- W785296064 workType "article" @default.