Matches in SemOpenAlex for { <https://semopenalex.org/work/W786069670> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 100 of
100
with 100 items per page.
- W786069670 endingPage "431" @default.
- W786069670 startingPage "431" @default.
- W786069670 created "2016-06-24" @default.
- W786069670 creator A5043126420 @default.
- W786069670 creator A5046462303 @default.
- W786069670 creator A5071679405 @default.
- W786069670 creator A5071800287 @default.
- W786069670 date "1994-01-01" @default.
- W786069670 modified "2023-10-01" @default.
- W786069670 title "Simulation of Plasma Etch Profile based on a Model of Elastic Collision between Ions and Neutrals" @default.
- W786069670 hasPublicationYear "1994" @default.
- W786069670 type Work @default.
- W786069670 sameAs 786069670 @default.
- W786069670 citedByCount "0" @default.
- W786069670 crossrefType "journal-article" @default.
- W786069670 hasAuthorship W786069670A5043126420 @default.
- W786069670 hasAuthorship W786069670A5046462303 @default.
- W786069670 hasAuthorship W786069670A5071679405 @default.
- W786069670 hasAuthorship W786069670A5071800287 @default.
- W786069670 hasConcept C100460472 @default.
- W786069670 hasConcept C105795698 @default.
- W786069670 hasConcept C105812681 @default.
- W786069670 hasConcept C107187091 @default.
- W786069670 hasConcept C111368507 @default.
- W786069670 hasConcept C121332964 @default.
- W786069670 hasConcept C127313418 @default.
- W786069670 hasConcept C135889238 @default.
- W786069670 hasConcept C145148216 @default.
- W786069670 hasConcept C147120987 @default.
- W786069670 hasConcept C147789679 @default.
- W786069670 hasConcept C155310634 @default.
- W786069670 hasConcept C159985019 @default.
- W786069670 hasConcept C17525397 @default.
- W786069670 hasConcept C178790620 @default.
- W786069670 hasConcept C184779094 @default.
- W786069670 hasConcept C185592680 @default.
- W786069670 hasConcept C192562407 @default.
- W786069670 hasConcept C19499675 @default.
- W786069670 hasConcept C2777289219 @default.
- W786069670 hasConcept C2779227376 @default.
- W786069670 hasConcept C33923547 @default.
- W786069670 hasConcept C41999313 @default.
- W786069670 hasConcept C52560446 @default.
- W786069670 hasConcept C62520636 @default.
- W786069670 hasConcept C82706917 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C100460472 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C105795698 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C105812681 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C107187091 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C111368507 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C121332964 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C127313418 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C135889238 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C145148216 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C147120987 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C147789679 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C155310634 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C159985019 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C17525397 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C178790620 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C184779094 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C185592680 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C192562407 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C19499675 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C2777289219 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C2779227376 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C33923547 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C41999313 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C52560446 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C62520636 @default.
- W786069670 hasConceptScore W786069670C82706917 @default.
- W786069670 hasIssue "3" @default.
- W786069670 hasLocation W7860696701 @default.
- W786069670 hasOpenAccess W786069670 @default.
- W786069670 hasPrimaryLocation W7860696701 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1491825312 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1968610171 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1976854299 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1982850825 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1986151916 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W1987992409 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2006517788 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2009479457 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2028489871 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2045353742 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2053459360 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2063086759 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2083393842 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2089134037 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2095300926 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2110550589 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2146464111 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2158214530 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W2260726759 @default.
- W786069670 hasRelatedWork W3148916366 @default.
- W786069670 hasVolume "32" @default.
- W786069670 isParatext "false" @default.
- W786069670 isRetracted "false" @default.
- W786069670 magId "786069670" @default.
- W786069670 workType "article" @default.