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- Q113079121 description "2006 nî lūn-bûn" @default.
- Q113079121 description "2006年の論文" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年学术文章" @default.
- Q113079121 description "2006年學術文章" @default.
- Q113079121 description "2006年學術文章" @default.
- Q113079121 description "2006年學術文章" @default.
- Q113079121 description "2006年學術文章" @default.
- Q113079121 description "2006年學術文章" @default.
- Q113079121 description "2006년 논문" @default.
- Q113079121 description "article científic" @default.
- Q113079121 description "article scientific" @default.
- Q113079121 description "article scientifique" @default.
- Q113079121 description "articol științific" @default.
- Q113079121 description "articolo scientifico" @default.
- Q113079121 description "artigo científico" @default.
- Q113079121 description "artigo científico" @default.
- Q113079121 description "artigo científico" @default.
- Q113079121 description "artikel ilmiah" @default.
- Q113079121 description "artikull shkencor" @default.
- Q113079121 description "artikulong pang-agham" @default.
- Q113079121 description "artykuł naukowy" @default.
- Q113079121 description "artículo científico publicado en 2006" @default.
- Q113079121 description "artículu científicu espublizáu n'ochobre de 2006" @default.
- Q113079121 description "bilimsel makale" @default.
- Q113079121 description "bài báo khoa học" @default.
- Q113079121 description "naučni članak" @default.
- Q113079121 description "scienca artikolo" @default.
- Q113079121 description "scientific article published on 24 October 2006" @default.
- Q113079121 description "scientific article published on 24 October 2006" @default.
- Q113079121 description "scientific article published on 24 October 2006" @default.
- Q113079121 description "teaduslik artikkel" @default.
- Q113079121 description "tieteellinen artikkeli" @default.
- Q113079121 description "tudományos cikk" @default.
- Q113079121 description "vedecký článok" @default.
- Q113079121 description "vetenskaplig artikel" @default.
- Q113079121 description "videnskabelig artikel udgivet 24. oktober 2006" @default.
- Q113079121 description "vitenskapelig artikkel" @default.
- Q113079121 description "vitskapeleg artikkel" @default.
- Q113079121 description "vědecký článek" @default.
- Q113079121 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q113079121 description "wissenschaftlicher Artikel" @default.
- Q113079121 description "επιστημονικό άρθρο" @default.
- Q113079121 description "мақолаи илмӣ" @default.
- Q113079121 description "наукова стаття, опублікована в жовтні 2006" @default.
- Q113079121 description "научна статия" @default.
- Q113079121 description "научная статья" @default.
- Q113079121 description "научни чланак" @default.
- Q113079121 description "научни чланак" @default.
- Q113079121 description "מאמר מדעי" @default.
- Q113079121 description "مقالة علمية نشرت في 24 أكتوبر 2006" @default.
- Q113079121 description "২৪ অক্টোবর ২০০৬-এ প্রকাশিত বৈজ্ঞানিক নিবন্ধ" @default.
- Q113079121 description "บทความทางวิทยาศาสตร์" @default.
- Q113079121 description "სამეცნიერო სტატია" @default.
- Q113079121 name "Effects of Thermal Annealing for Restoration of UV Irradiation Damage during Plasma Etching Processes" @default.
- Q113079121 type Item @default.
- Q113079121 label "Effects of Thermal Annealing for Restoration of UV Irradiation Damage during Plasma Etching Processes" @default.
- Q113079121 prefLabel "Effects of Thermal Annealing for Restoration of UV Irradiation Damage during Plasma Etching Processes" @default.
- Q113079121 P1433 Q113079121-4FFFE7E1-035A-4C0E-99A6-0EF02C861116 @default.
- Q113079121 P1476 Q113079121-5ABA1654-8EDB-4F31-9C5E-70753A2EB1B2 @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-46D8BF6C-5770-45D6-86AF-FAD7404E602C @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-7974FFA4-C7AA-4C1B-AA83-B403EA3EB89E @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-B848498F-9F3B-4844-BED0-38C216BF5AD8 @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-C750C17E-5E23-4721-917E-0639EAC77959 @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-CAB34238-D6B5-4761-B3F3-3468A0BAB7E4 @default.
- Q113079121 P2093 Q113079121-E83E8561-B7DD-48A6-A8C6-CE0513F52883 @default.
- Q113079121 P304 Q113079121-2D6BDAA4-109E-4221-85A0-AE8691C5A38D @default.
- Q113079121 P31 Q113079121-B9A7E332-53C3-4D08-85C6-9E0E196ED122 @default.
- Q113079121 P356 Q113079121-9F9D63D9-40EE-4AF6-AC93-033292FB0284 @default.
- Q113079121 P433 Q113079121-9069C202-DEA3-445A-A68D-8A9708CD19B7 @default.
- Q113079121 P478 Q113079121-E950D938-4163-46F9-AF9C-C247FDD2E7F3 @default.
- Q113079121 P577 Q113079121-903AB4A8-AE62-42C8-A34D-706497C78C84 @default.
- Q113079121 P356 JJAP.45.8370 @default.
- Q113079121 P1433 Q2366671 @default.
- Q113079121 P1476 "Effects of Thermal Annealing for Restoration of UV Irradiation Damage during Plasma Etching Processes" @default.
- Q113079121 P2093 "Mitsuru Okigawa" @default.
- Q113079121 P2093 "Ryu Shimizu" @default.
- Q113079121 P2093 "Seiji Samukawa" @default.
- Q113079121 P2093 "Yasushi Ishikawa" @default.
- Q113079121 P2093 "Yoshinari Ichihashi" @default.
- Q113079121 P2093 "Yuji Kato" @default.
- Q113079121 P304 "8370-8373" @default.
- Q113079121 P31 Q13442814 @default.
- Q113079121 P356 "10.1143/JJAP.45.8370" @default.
- Q113079121 P433 "10B" @default.
- Q113079121 P478 "45" @default.
- Q113079121 P577 "2006-10-24T00:00:00Z" @default.