Matches in Wikidata for { <http://www.wikidata.org/entity/Q30761505> ?p ?o ?g. }
- Q30761505 description "2002 nî lūn-bûn" @default.
- Q30761505 description "2002 թուականի Դեկտեմբերին հրատարակուած գիտական յօդուած" @default.
- Q30761505 description "2002 թվականի դեկտեմբերին հրատարակված գիտական հոդված" @default.
- Q30761505 description "2002年の論文" @default.
- Q30761505 description "2002年論文" @default.
- Q30761505 description "2002年論文" @default.
- Q30761505 description "2002年論文" @default.
- Q30761505 description "2002年論文" @default.
- Q30761505 description "2002年論文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002年论文" @default.
- Q30761505 description "2002년 논문" @default.
- Q30761505 description "article científic" @default.
- Q30761505 description "article scientific" @default.
- Q30761505 description "article scientifique (publié 2002)" @default.
- Q30761505 description "articol științific" @default.
- Q30761505 description "articolo scientifico" @default.
- Q30761505 description "artigo científico (publicado na 2002)" @default.
- Q30761505 description "artigo científico (publicado na 2002)" @default.
- Q30761505 description "artigo científico" @default.
- Q30761505 description "artikull shkencor" @default.
- Q30761505 description "artikulong pang-agham" @default.
- Q30761505 description "artykuł naukowy" @default.
- Q30761505 description "artículo científico publicado en 2002" @default.
- Q30761505 description "artículu científicu espublizáu en 2002" @default.
- Q30761505 description "bilimsel makale" @default.
- Q30761505 description "bài báo khoa học" @default.
- Q30761505 description "mokslinis straipsnis" @default.
- Q30761505 description "naučni članak" @default.
- Q30761505 description "scienca artikolo" @default.
- Q30761505 description "scientific article" @default.
- Q30761505 description "teaduslik artikkel" @default.
- Q30761505 description "tieteellinen artikkeli" @default.
- Q30761505 description "tudományos cikk" @default.
- Q30761505 description "vedecký článok" @default.
- Q30761505 description "vetenskaplig artikel" @default.
- Q30761505 description "videnskabelig artikel (udgivet 2002)" @default.
- Q30761505 description "vitenskapelig artikkel" @default.
- Q30761505 description "vitskapeleg artikkel" @default.
- Q30761505 description "vědecký článek" @default.
- Q30761505 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q30761505 description "wissenschaftlicher Artikel" @default.
- Q30761505 description "επιστημονικό άρθρο" @default.
- Q30761505 description "мақолаи илмӣ" @default.
- Q30761505 description "мақолаи илмӣ" @default.
- Q30761505 description "наукова стаття, опублікована в грудні 2002" @default.
- Q30761505 description "научна статия" @default.
- Q30761505 description "научная статья" @default.
- Q30761505 description "научни чланак" @default.
- Q30761505 description "научни чланак" @default.
- Q30761505 description "מאמר מדעי" @default.
- Q30761505 description "سائنسی مضمون" @default.
- Q30761505 description "مقالة علمية (نشرت في ديسمبر 2002)" @default.
- Q30761505 description "مقالة علمية تنشرت ف 1 دجنبر 2002" @default.
- Q30761505 description "مقالهٔ علمی" @default.
- Q30761505 description "২০০২-এ প্রকাশিত বৈজ্ঞানিক নিবন্ধ" @default.
- Q30761505 description "บทความทางวิทยาศาสตร์" @default.
- Q30761505 description "სამეცნიერო სტატია" @default.
- Q30761505 name "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 name "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 name "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 type Item @default.
- Q30761505 label "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 label "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 label "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 prefLabel "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 prefLabel "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 prefLabel "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 P1433 Q30761505-FECBAA79-B6B7-457D-AFCF-B3DD6750DCBD @default.
- Q30761505 P1476 Q30761505-65EEDD7D-D2C0-431E-8F42-B741FC888902 @default.
- Q30761505 P2093 Q30761505-3BDE8D56-4C7D-4CDD-BDFA-A1C2FA8DB266 @default.
- Q30761505 P2093 Q30761505-3F6DDFDA-57FF-46B2-A936-339C972B11F8 @default.
- Q30761505 P2093 Q30761505-953CAEF7-D614-4810-AE19-A5AE00B0130C @default.
- Q30761505 P2093 Q30761505-95D10571-1348-4A9C-BB78-55EF685892B8 @default.
- Q30761505 P2093 Q30761505-E9BD1065-667D-4B37-923A-B0ACB02DD7DE @default.
- Q30761505 P304 Q30761505-09C825BD-A0AE-4B66-9D7C-01AEFF07EC60 @default.
- Q30761505 P31 Q30761505-30D77508-CC8E-485D-A488-8EE468325BBD @default.
- Q30761505 P356 Q30761505-58BDD9A6-B05F-454B-9653-71AB1D6A39AF @default.
- Q30761505 P433 Q30761505-62FC2E4A-3740-4355-86C0-421EAAFF74CF @default.
- Q30761505 P478 Q30761505-4F792819-4495-4365-A99C-A3FE20285B4A @default.
- Q30761505 P577 Q30761505-9B89EB63-F973-490C-8773-DA450288AC89 @default.
- Q30761505 P698 Q30761505-067C1A6A-8E0D-4DD2-B216-8A853364AF69 @default.
- Q30761505 P356 S1431927602010450 @default.
- Q30761505 P698 12533211 @default.
- Q30761505 P1433 Q6840043 @default.
- Q30761505 P1476 "Focused ion beam sectioning and lift-out method for copper and resist vias in organic low-k dielectrics" @default.
- Q30761505 P2093 "Barth K" @default.
- Q30761505 P2093 "Crawford EJ" @default.
- Q30761505 P2093 "Gignac L" @default.
- Q30761505 P2093 "Levine E" @default.
- Q30761505 P2093 "Petrus J" @default.
- Q30761505 P304 "502-508" @default.
- Q30761505 P31 Q13442814 @default.
- Q30761505 P356 "10.1017/S1431927602010450" @default.
- Q30761505 P433 "6" @default.
- Q30761505 P478 "8" @default.