Matches in Wikidata for { <http://www.wikidata.org/entity/Q33315366> ?p ?o ?g. }
- Q33315366 description "1984 nî lūn-bûn" @default.
- Q33315366 description "1984 թուականի Մարտին հրատարակուած գիտական յօդուած" @default.
- Q33315366 description "1984 թվականի մարտին հրատարակված գիտական հոդված" @default.
- Q33315366 description "1984年の論文" @default.
- Q33315366 description "1984年論文" @default.
- Q33315366 description "1984年論文" @default.
- Q33315366 description "1984年論文" @default.
- Q33315366 description "1984年論文" @default.
- Q33315366 description "1984年論文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984年论文" @default.
- Q33315366 description "1984년 논문" @default.
- Q33315366 description "article científic" @default.
- Q33315366 description "article scientific" @default.
- Q33315366 description "article scientifique (publié 1984)" @default.
- Q33315366 description "articol științific" @default.
- Q33315366 description "articolo scientifico" @default.
- Q33315366 description "artigo científico (publicado na 1984)" @default.
- Q33315366 description "artigo científico (publicado na 1984)" @default.
- Q33315366 description "artigo científico" @default.
- Q33315366 description "artikull shkencor" @default.
- Q33315366 description "artikulong pang-agham" @default.
- Q33315366 description "artykuł naukowy" @default.
- Q33315366 description "artículo científico publicado en 1984" @default.
- Q33315366 description "artículu científicu espublizáu en 1984" @default.
- Q33315366 description "bilimsel makale" @default.
- Q33315366 description "bài báo khoa học" @default.
- Q33315366 description "mokslinis straipsnis" @default.
- Q33315366 description "naučni članak" @default.
- Q33315366 description "scienca artikolo" @default.
- Q33315366 description "scientific article" @default.
- Q33315366 description "teaduslik artikkel" @default.
- Q33315366 description "tieteellinen artikkeli" @default.
- Q33315366 description "tudományos cikk" @default.
- Q33315366 description "vedecký článok" @default.
- Q33315366 description "vetenskaplig artikel" @default.
- Q33315366 description "videnskabelig artikel (udgivet 1984)" @default.
- Q33315366 description "vitenskapelig artikkel" @default.
- Q33315366 description "vitskapeleg artikkel" @default.
- Q33315366 description "vědecký článek" @default.
- Q33315366 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q33315366 description "wissenschaftlicher Artikel" @default.
- Q33315366 description "επιστημονικό άρθρο" @default.
- Q33315366 description "мақолаи илмӣ" @default.
- Q33315366 description "мақолаи илмӣ" @default.
- Q33315366 description "наукова стаття, опублікована в березні 1984" @default.
- Q33315366 description "научна статия" @default.
- Q33315366 description "научная статья" @default.
- Q33315366 description "научни чланак" @default.
- Q33315366 description "научни чланак" @default.
- Q33315366 description "מאמר מדעי" @default.
- Q33315366 description "سائنسی مضمون" @default.
- Q33315366 description "مقالة علمية" @default.
- Q33315366 description "مقالهٔ علمی" @default.
- Q33315366 description "১৯৮৪-এ প্রকাশিত বৈজ্ঞানিক নিবন্ধ" @default.
- Q33315366 description "บทความทางวิทยาศาสตร์" @default.
- Q33315366 description "სამეცნიერო სტატია" @default.
- Q33315366 name "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 name "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 name "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 type Item @default.
- Q33315366 label "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 label "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 label "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 prefLabel "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 prefLabel "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 prefLabel "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 P1433 Q33315366-331FE7A7-7DAC-4235-A99D-A5C9EEC990D9 @default.
- Q33315366 P1476 Q33315366-E4B44B92-6E83-4E12-9CD9-C5437A292038 @default.
- Q33315366 P2093 Q33315366-1E0123E7-C295-4C73-B4EB-81464042D3DD @default.
- Q33315366 P2093 Q33315366-97982E6B-AE4A-49A5-8482-EB8150C73942 @default.
- Q33315366 P304 Q33315366-65ED2A9F-8C41-46F2-A0D9-213D0FF0566B @default.
- Q33315366 P31 Q33315366-A03EF322-8F90-4117-B0F3-AB9226984B5D @default.
- Q33315366 P356 Q33315366-A073F435-C664-4949-92A3-260C1176520E @default.
- Q33315366 P407 Q33315366-AA0D436B-D2D6-4D22-83DA-7A1A724073CC @default.
- Q33315366 P433 Q33315366-36DEE7C8-AF18-403F-9F11-D5A42C9A6056 @default.
- Q33315366 P478 Q33315366-424AF6E5-E3BA-4B43-93CD-3105C99AE168 @default.
- Q33315366 P577 Q33315366-1B6C0935-FA54-428D-AC40-93E748D522DF @default.
- Q33315366 P698 Q33315366-FBBE3DD8-ECFB-42F8-B68A-82BEF61736B4 @default.
- Q33315366 P819 Q33315366-F6804651-8A9E-4FAC-8813-A90E051541E3 @default.
- Q33315366 P921 Q33315366-73A376C6-98CF-4706-966A-B0EEAA6EB448 @default.
- Q33315366 P356 AO.23.000648 @default.
- Q33315366 P698 18204616 @default.
- Q33315366 P1433 Q4781557 @default.
- Q33315366 P1476 "Excimer laser projection lithography" @default.
- Q33315366 P2093 "Jain K" @default.
- Q33315366 P2093 "Kerth RT" @default.
- Q33315366 P304 "648" @default.
- Q33315366 P31 Q13442814 @default.
- Q33315366 P356 "10.1364/AO.23.000648" @default.
- Q33315366 P407 Q1860 @default.
- Q33315366 P433 "5" @default.
- Q33315366 P478 "23" @default.
- Q33315366 P577 "1984-03-01T00:00:00Z" @default.
- Q33315366 P698 "18204616" @default.
- Q33315366 P819 "1984ApOpt..23..648J" @default.