Matches in Wikidata for { <http://www.wikidata.org/entity/Q59677504> ?p ?o ?g. }
Showing items 1 to 43 of
43
with 100 items per page.
- Q59677504 description "artículu científicu" @default.
- Q59677504 description "wetenschappelijk artikel" @default.
- Q59677504 description "наукова стаття, опублікована в березні 2014" @default.
- Q59677504 name "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 name "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 type Item @default.
- Q59677504 label "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 label "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 prefLabel "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 prefLabel "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 P1476 Q59677504-F339469E-6655-4BEE-8C33-287A1999133E @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-1C3D62A7-68E7-49AE-B69C-7604E26C1764 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-9F4E547A-1E0A-45C7-8AD5-5D5049554BF4 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-A829642C-982E-4557-A60E-5B2088625F8D @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-B5A026BF-D318-452B-85F5-9123138EEE40 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-B6A63428-27B9-4B59-A70F-E97A7EDF2A3D @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-C95C78B8-49E5-421D-9F81-4A743B7164FF @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-E36879A6-7932-491B-AFDB-507D16E0FE9C @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-EBFA9325-5464-4428-AA0A-3CD9E762C514 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-EE4CF1EE-3E77-4348-A042-01E762FB3464 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-F70029CF-B30D-4D48-AF85-9F79C8C0DDA9 @default.
- Q59677504 P2093 Q59677504-F8D9112B-15D2-4AE4-A991-8A6C77490C2E @default.
- Q59677504 P31 Q59677504-1AEF0B06-FCE5-4F0C-887C-D10FAD4387D8 @default.
- Q59677504 P356 Q59677504-4AD76F70-7DB3-4065-92AA-EF2B5DB8895E @default.
- Q59677504 P50 Q59677504-D7D1D4B7-3CD9-4AB1-AB3B-F91F340D42BE @default.
- Q59677504 P577 Q59677504-1F94E270-FEB1-46E8-AA02-AFC8671BAB36 @default.
- Q59677504 P356 12.2046267 @default.
- Q59677504 P1476 "Etch challenges for DSA implementation in CMOS via patterning" @default.
- Q59677504 P2093 "A. Gharbi" @default.
- Q59677504 P2093 "C. Lapeyre" @default.
- Q59677504 P2093 "C. Monget" @default.
- Q59677504 P2093 "C. Navarro" @default.
- Q59677504 P2093 "C. Nicolet" @default.
- Q59677504 P2093 "E. Martinez" @default.
- Q59677504 P2093 "I. Servin" @default.
- Q59677504 P2093 "M. Argoud" @default.
- Q59677504 P2093 "P. Pimenta Barros" @default.
- Q59677504 P2093 "S. Barnola" @default.
- Q59677504 P2093 "X. Chevalier" @default.
- Q59677504 P31 Q13442814 @default.
- Q59677504 P356 "10.1117/12.2046267" @default.
- Q59677504 P50 Q59509703 @default.
- Q59677504 P577 "2014-03-28T00:00:00Z" @default.